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1. WO2016199439 - 三次元計測装置

公開番号 WO/2016/199439
公開日 15.12.2016
国際出願番号 PCT/JP2016/050551
国際出願日 08.01.2016
IPC
G01B 11/25 2006.1
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
25対象物にパターン,例.モアレ縞,を投影することによるもの
G06T 1/00 2006.1
G物理学
06計算;計数
Tイメージデータ処理または発生一般
1汎用イメージデータ処理
CPC
G01B 11/0608
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0608Height gauges
G01B 11/25
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
G01B 11/2513
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2513with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
H04N 5/2256
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
5Details of television systems
222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, TV cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules for embedding in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
225Television cameras ; ; Cameras comprising an electronic image sensor, e.g. digital cameras, video cameras, camcorders, webcams, camera modules specially adapted for being embedded in other devices, e.g. mobile phones, computers or vehicles
2256provided with illuminating means
H04N 7/183
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
7Television systems
18Closed circuit television systems, i.e. systems in which the signal is not broadcast
183for receiving images from a single remote source
出願人
  • CKD株式会社 CKD CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 大山 剛 OHYAMA Tsuyoshi
  • 坂井田 憲彦 SAKAIDA Norihiko
  • 間宮 高弘 MAMIYA Takahiro
  • 石垣 裕之 ISHIGAKI Hiroyuki
代理人
  • 川口光男 KAWAGUCHI Mitsuo
優先権情報
2015-11884212.06.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元計測装置
要約
(EN) The present invention provides a three-dimensional measurement device capable of carrying out three-dimensional measurement using a phase shift method with higher accuracy and in a shorter period of time. A substrate inspection device 1 is provided with an illumination device 4 for irradiating a striped light pattern onto a printed circuit board 2, a camera 5 for imaging the portion of the printed circuit board 2 irradiated with the light pattern, and a control device 6 for carrying out three-dimensional measurement on the basis of the imaged image data. The control device 6 calculates a first height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a first optical pattern having a first period onto a first position and acquires gain and offset values from the image data. Further, the control device 6 uses the gain and offset values to calculate a second height measurement value on the basis of image data obtained by irradiating a second optical pattern having a second period onto a second position that is diagonally offset by a half-pixel pitch. Height data specified on the basis of the first measurement value and second measurement value is acquired as real height data.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure tridimensionnelle apte à effectuer une mesure tridimensionnelle à l'aide d'un procédé de décalage de phase ayant une précision plus élevée et dans un laps de temps plus court. Un dispositif d'inspection de substrat (1) comprend un dispositif d'éclairage (4) pour rayonner un motif de lumière en bandes sur une carte de circuits imprimés (2), un dispositif d'appareil de prise de vues (5) pour imager la partie de la carte de circuits imprimés (2) rayonnée avec le motif de lumière, et un dispositif de commande (6) pour la effectuer une mesure tridimensionnelle sur la base des données d'image imagées. Le dispositif de commande (6) calcule une première valeur de mesure de hauteur sur la base de données d'image obtenues par rayonnement d'un premier motif optique ayant une première période sur une première position et acquiert des valeurs de gain et de décalage à partir des données d'image. En outre, le dispositif de commande (6) utilise les valeurs de gain et de décalage pour calculer une seconde valeur de mesure de hauteur sur la base de données d'image obtenues par rayonnement d'un second motif optique ayant une seconde période sur une seconde position qui est diagonalement décalée d'un pas de demi-pixel. Des données de hauteur spécifiées sur la base de la première valeur de mesure et de la seconde valeur de mesure sont acquises en tant que données de hauteur réelles.
(JA) 位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測をより短時間で実現することのできる三次元計測装置を提供する。基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照明装置4と、プリント基板2上の光パターンの照射された部分を撮像するカメラ5と、撮像された画像データに基づき三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1位置にて第1周期の第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1の高さ計測値を算出すると共に、該画像データからゲイン及びオフセットの値を取得する。また、半画素ピッチ斜めにずれた第2位置にて、第2周期の第2光パターンを照射して得られた画像データを基に、前記ゲイン及びオフセットの値を利用して第2の高さ計測値を算出する。そして、第1の計測値及び第2の計測値から特定される高さデータを、真の高さデータとして取得する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報