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1. WO2016199271 - 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の制御方法

公開番号 WO/2016/199271
公開日 15.12.2016
国際出願番号 PCT/JP2015/066875
国際出願日 11.06.2015
IPC
H01J 37/22 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/20 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
20物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
H01J 37/24 2006.1
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
24管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
CPC
H01J 2237/063
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
063Electron sources
H01J 2237/20228
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20221Translation
20228Mechanical X-Y scanning
H01J 2237/2025
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
2025Sensing velocity of translation or rotation
H01J 2237/221
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
22Treatment of data
221Image processing
H01J 2237/24507
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
245Detection characterised by the variable being measured
24507Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
H01J 2237/30416
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
304Controlling tubes
30405Details
30416Handling of data
出願人
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 小林 寛司 KOBAYASHI, Hiroshi
  • 唐鎌 章 KARAKAMA, Akira
  • 佐藤 典夫 SATO, Norio
代理人
  • 特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所 WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の制御方法
要約
(EN) This charged particle beam device (1) comprises: a stage driver (14) for driving a stage (13); a detector (16) for detecting charged particles released from a sample (SAMP); a first image transfer unit (20) for transferring a signal from the detector using a first image transfer protocol; a second image transfer unit (21) for transferring a signal from the detector using a second image transfer protocol; and a switch unit (23) for using the first image transfer unit or the second image transfer unit by switching therebetween on the basis of the state of the stage. The first image transfer protocol is more highly reliable than the second image transfer protocol, while the transfer speed by the second image transfer protocol is faster than by the first image transfer protocol. The use of a plurality of image transfer units by switching therebetween depending on the state of the stage improves communication fault-resistance and the ability to track stage movements.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées (1) comprenant : un circuit de pilotage d'étage (14) destiné à piloter un étage (13); un détecteur (16) destiné à détecter des particules chargées libérées depuis un échantillon (SAMP); une première unité de transfert d'image (20) destinée à transférer un signal provenant du détecteur en utilisant un premier protocole de transfert d'image; une deuxième unité de transfert d'image (21) destinée à transférer un signal provenant du détecteur en utilisant un deuxième protocole de transfert d'image; et une unité de commutation (23) destinée à utiliser la première unité de transfert d'image ou la deuxième unité de transfert d'image par commutation entre celles-ci sur la base de l'état de l'étage. Le premier protocole de transfert d'image présente une fiabilité plus élevée que le deuxième protocole de transfert d'image, tandis que la vitesse de transfert par le deuxième protocole de transfert d'image est plus élevée que par le premier protocole de transfert d'image. L'utilisation d'une pluralité d'unités de transfert d'image par commutation entre celles-ci en fonction de l'état de l'étage améliore l'immunité aux défauts de communication et la capacité à suivre les mouvements de l'étage.
(JA) 本発明の荷電粒子線装置(1)は、ステージ(13)を駆動するステージ駆動部(14)と、試料(SAMP)から放出される荷電粒子を検出する検出器(16)と、前記検出器からの信号を第1画像転送プロトコルを用いて転送する第1画像転送部(20)と、前記検出器からの信号を第2画像転送プロトコルを用いて転送する第2画像転送部(21)と、前記ステージの状態に基づいて前記第1画像転送部と前記第2画像転送部とを切り換えて使用する切換部(23)とを備える。前記第1画像転送プロトコルは前記第2画像転送プロトコルよりも信頼性が高く、前記第2画像転送プロトコルは前記第1画像転送プロトコルよりも転送速度が速い。ステージの状態に応じて、複数の画像転送部を切換使用することにより、ステージ移動に対する追従性と、通信の耐障害性が向上する。
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