(EN) This charged particle beam device (1) comprises: a stage driver (14) for driving a stage (13); a detector (16) for detecting charged particles released from a sample (SAMP); a first image transfer unit (20) for transferring a signal from the detector using a first image transfer protocol; a second image transfer unit (21) for transferring a signal from the detector using a second image transfer protocol; and a switch unit (23) for using the first image transfer unit or the second image transfer unit by switching therebetween on the basis of the state of the stage. The first image transfer protocol is more highly reliable than the second image transfer protocol, while the transfer speed by the second image transfer protocol is faster than by the first image transfer protocol. The use of a plurality of image transfer units by switching therebetween depending on the state of the stage improves communication fault-resistance and the ability to track stage movements.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées (1) comprenant : un circuit de pilotage d'étage (14) destiné à piloter un étage (13); un détecteur (16) destiné à détecter des particules chargées libérées depuis un échantillon (SAMP); une première unité de transfert d'image (20) destinée à transférer un signal provenant du détecteur en utilisant un premier protocole de transfert d'image; une deuxième unité de transfert d'image (21) destinée à transférer un signal provenant du détecteur en utilisant un deuxième protocole de transfert d'image; et une unité de commutation (23) destinée à utiliser la première unité de transfert d'image ou la deuxième unité de transfert d'image par commutation entre celles-ci sur la base de l'état de l'étage. Le premier protocole de transfert d'image présente une fiabilité plus élevée que le deuxième protocole de transfert d'image, tandis que la vitesse de transfert par le deuxième protocole de transfert d'image est plus élevée que par le premier protocole de transfert d'image. L'utilisation d'une pluralité d'unités de transfert d'image par commutation entre celles-ci en fonction de l'état de l'étage améliore l'immunité aux défauts de communication et la capacité à suivre les mouvements de l'étage.
(JA) 本発明の荷電粒子線装置（１）は、ステージ（１３）を駆動するステージ駆動部（１４）と、試料（ＳＡＭＰ）から放出される荷電粒子を検出する検出器（１６）と、前記検出器からの信号を第１画像転送プロトコルを用いて転送する第１画像転送部（２０）と、前記検出器からの信号を第２画像転送プロトコルを用いて転送する第２画像転送部（２１）と、前記ステージの状態に基づいて前記第１画像転送部と前記第２画像転送部とを切り換えて使用する切換部（２３）とを備える。前記第１画像転送プロトコルは前記第２画像転送プロトコルよりも信頼性が高く、前記第２画像転送プロトコルは前記第１画像転送プロトコルよりも転送速度が速い。ステージの状態に応じて、複数の画像転送部を切換使用することにより、ステージ移動に対する追従性と、通信の耐障害性が向上する。
