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1. (WO2016185984) 処理システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/185984    国際出願番号:    PCT/JP2016/064066
国際公開日: 24.11.2016 国際出願日: 11.05.2016
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
発明者: TANIFUJI, Tamotsu; (JP).
YUASA, Tamaki; (JP).
KAWAKAMI, Satoru; (JP)
代理人: SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
優先権情報:
2015-103896 21.05.2015 JP
発明の名称: (EN) TREATMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT
(JA) 処理システム
要約: front page image
(EN)This treatment system is provided with one or more treatment units (20). Each of the treatment units (20) has a plurality of treatment chambers (22), and a utility module (30). Each of the treatment chambers (22) treats, using a supplied treatment gas, a subject to be treated. The utility module (30) includes a flow rate control unit (31) that controls the flow rate of the treatment gas to be supplied to each of the treatment chambers (22). The treatment chambers (22) are disposed by overlapping each other in the vertical direction. The utility module (30) is disposed between two treatment chambers (22) adjacent to each other in the vertical direction, said two treatment chambers being among the treatment chambers (22).
(FR)La présente invention concerne un système de traitement pourvu d'une ou plusieurs unités (20) de traitement. Chacune des unités (20) de traitement a une pluralité de chambres (22) de traitement et un module utilitaire (30). Chacune des chambres (22) de traitement traite, à l'aide d'un gaz de traitement fourni, un sujet à traiter. Le module utilitaire (30) comprend une unité de réglage de débit (31) qui règle le débit du gaz de traitement à fournir à chacune des chambres (22) de traitement. Les chambres (22) de traitement sont disposées par chevauchement l'une sur l'autre dans la direction verticale. Le module utilitaire (30) est disposé entre deux chambres (22) de traitement adjacentes l'une à l'autre dans la direction verticale, lesdites deux chambres de traitement étant parmi les chambres (22) de traitement.
(JA)処理システムは、1つ以上の処理ユニット(20)を備える。それぞれの処理ユニット(20)は、複数の処理チャンバ(22)と、ユーティリティモジュール(30)とを有する。それぞれの処理チャンバ(22)は、供給された処理ガスを用いて被処理体を処理する。ユーティリティモジュール(30)は、複数の処理チャンバ(22)のそれぞれに供給される処理ガスの流量を制御する流量制御部(31)を含む。複数の処理チャンバ(22)は、上下方向に重ねて配置される。ユーティリティモジュール(30)は、複数の処理チャンバ(22)のうち、上下方向に隣接する2つの処理チャンバ(22)の間に配置される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)