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1. (WO2016185729) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/185729    国際出願番号:    PCT/JP2016/050453
国際公開日: 24.11.2016 国際出願日: 08.01.2016
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 11/26 (2006.01)
出願人: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP)
発明者: SUZUKI Yoshimasa; (JP).
ODE Hisashi; (JP).
ODAIRA Mayumi; (JP)
代理人: SAITO Keisuke; (JP)
優先権情報:
PCT/JP2015/064446 20.05.2015 JP
発明の名称: (EN) SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT METHOD AND SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE DE LA FORME D'UNE ÉPROUVETTE
(JA) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
要約: front page image
(EN)This specimen shape measurement method involves a step S10 for preparing an illumination light which passes through a prescribed illumination region, a step S20 for irradiating a specimen with the illumination light, and a prescribed treatment step S30. The prescribed illumination region is configured such that the optical axis is not contained in the pupil position of an illumination optical system, and is configured such that, in the pupil position of the observation optical system, the illumination light is illuminated onto a portion inside of the pupil and to outside of the pupil. The illumination light passes through the specimen, and the light emitted from the specimen is incident into the observation optical system. The prescribed treatment step S30 includes a step S31 for receiving light emitted from the observation optical system, a step S32 for calculating the intensity of the received light, a step S33 for calculating the difference between, or the ratio of, the light intensity and a reference light intensity, and a step S34 for calculating the inclination amount of the specimen surface from the difference or ratio.
(FR)La présente invention concerne un procédé de mesure de la forme d'une éprouvette, le procédé comprenant une étape S10 de préparation d'une lumière d'éclairage qui passe à travers une région d'éclairage prédéterminée, une étape S20 d'irradiation d'une éprouvette avec la lumière d'éclairage, et une étape S30 de traitement prédéterminé. La région d'éclairage prédéterminé est conçue de façon que l'axe optique ne soit pas contenu dans la position de la pupille d'un système optique d'éclairage, et est conçue de façon que, dans la position de la pupille du système optique d'observation, la lumière d'éclairage soit projetée sur une partie se trouvant à l'intérieur de la pupille et sur l'extérieur de la pupille. La lumière d'éclairage passe à travers l'éprouvette, et la lumière émise par l'éprouvette est incidente dans le système optique d'observation. L'étape S30 de traitement prédéterminé comprend une étape S31 de réception de la lumière émise par le système optique d'observation, une étape S32 de calcul de l'intensité de la lumière reçue, une étape S33 de calcul de la différence ou du rapport entre l'intensité de la lumière et une intensité de lumière de référence, et une étape S34 de calcul de la quantité d'inclinaison de la surface de l'éprouvette à partir de la différence ou du rapport.
(JA)標本形状測定方法は、所定の照明領域を通過する照明光を準備するステップS10と、照明光を標本に照射するステップS20と、所定の処理ステップS30と、を有し、所定の照明領域は、照明光学系の瞳位置にて光軸を含まないように設定されると共に、照明光が観察光学系の瞳位置にて該瞳の内側の一部分と該瞳の外側に照射されるように設定され、照明光は標本を透過し、標本から出射した光は観察光学系に入射し、所定の処理ステップS30は、観察光学系から出射した光を受光するステップS31と、受光した光の光量を求めるステップS32と、光量と基準の光量との差又は比を算出するステップS33と、差又は比から、標本の表面における傾き量を算出するステップS34と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)