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1. (WO2016185618) 干渉縞投影光学系及び形状測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/185618    国際出願番号:    PCT/JP2015/064837
国際公開日: 24.11.2016 国際出願日: 18.05.2015
IPC:
G01B 11/25 (2006.01)
出願人: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 2951, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928507 (JP)
発明者: MATSUMOTO, Koji; (JP)
代理人: SUGIMURA, Kenji; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) INTERFERENCE FRINGE PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND SHAPE MEASUREMENT DEVICE
(FR) SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION DE FRANGES D'INTERFÉRENCE ET DISPOSITIF DE MESURE DE FORME
(JA) 干渉縞投影光学系及び形状測定装置
要約: front page image
(EN)The present invention is provided with an interference-fringe-generating optical system 11 for generating an interference fringe, and a magnifying optical system 21 for magnifying the interference fringe and projecting the interference fringe onto an object surface 70, the magnifying optical system 21 comprising an incidence-side lens group 22 on a side on which a luminous flux forming an interference fringe is incident, and an emission-side lens group 23 on a side on which the luminous flux is emitted and projected toward the object surface, the expression f1/f2 > 3 being satisfied, where f1 is the focal distance of the incidence-side lens group 22 and f2 is the focal distance of the emission-side lens group 23, each of the incidence-side lens group 22 and the emission-side lens group 23 having a positive refractive index, and the expression xd/(f1 + f2) < 2 being satisfied, where xd is the distance from the emission-side principal point of the incidence-side lens group 22 to the incidence-side principal point of the emission-side lens group 23.
(FR)La présente invention comprend un système optique générateur de franges d'interférence (11) pour générer une frange d'interférence, et un système optique grossissant (21) pour agrandir la frange d'interférence et projeter la frange d'interférence sur une surface d'objet (70), le système optique grossissant (21) comprenant un groupe de lentilles côté d'incidence (22) sur un côté sur lequel un flux lumineux formant une frange d'interférence est incident, et un groupe de lentilles côté d'émission (23) sur un côté sur lequel le flux lumineux est émis et projeté vers la surface de l'objet, l'expression f1/f2 > 3 étant satisfaite, où f1 est la distance focale du groupe de lentilles côté d'incidence (22) et f2 est la distance focale du groupe de lentilles côté d'émission (23), chacun du groupe de lentilles côté d'incidence (22) et du groupe de lentilles côté d'émission (23) ayant un indice de réfraction positif, et l'expression xd/(f1 + f2) < 2 étant satisfaite, où xd est la distance entre le point principal côté d'émission du groupe de lentilles côté d'incidence (22) et le point principal coté d'incidence du groupe de lentilles côté d'émission (23).
(JA)干渉縞を生成する干渉縞生成光学系11と、干渉縞を拡大して物体表面70上に投影する拡大光学系21と、を備え、拡大光学系21は、干渉縞を形成する光束が入射する側の入射側レンズ群22と、光束を射出して物体表面に向けて干渉縞を投影する側の射出側レンズ群23とからなり、入射側レンズ群22の焦点距離をf1、射出側レンズ群23の焦点距離をf2、とするとき、f1/f2>3、であり、入射側レンズ群22及び射出側レンズ群23はそれぞれ正屈折力を有し、入射側レンズ群22の射出側主点から射出側レンズ群23の入射側主点までの距離をxdとしたとき、xd/(f1+f2)<2、を満たす。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)