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1. (WO2016185581) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

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国際公開番号:    WO/2016/185581    国際出願番号:    PCT/JP2015/064446
国際公開日: 24.11.2016 国際出願日: 20.05.2015
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 11/26 (2006.01)
出願人: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP)
発明者: SUZUKI Yoshimasa; (JP).
ODE Hisashi; (JP)
代理人: SAITO Keisuke; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT METHOD AND SPECIMEN SHAPE MEASUREMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON ET DISPOSITIF DE MESURE DE FORME D'ÉCHANTILLON
(JA) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
要約: front page image
(EN)This specimen shape measurement method involves a step S10 for preparing an illumination light which passes through a prescribed illumination region, a step S20 for irradiating a specimen with the illumination light, and a prescribed treatment step S30. The prescribed illumination region is configured such that the optical axis is not contained in the pupil position of an illumination optical system, and is configured such that, in the pupil position of the observation optical system, the illumination light is illuminated onto a portion inside of the pupil and to outside of the pupil. The prescribed treatment step S30 includes a step S31 for receiving light emitted from the observation optical system, a step S32 for calculating the intensity of the received light, a step S33 for calculating the difference between, or the ratio of, the light intensity and a reference light intensity, and a step S34 for calculating the inclination amount of the specimen surface.
(FR)La présente invention concerne un procédé de mesure de forme d'échantillon qui comprend une étape (S10) pour préparer une lumière d'éclairage qui passe à travers une région d'éclairage prescrite, une étape (S20) pour irradier un échantillon avec la lumière d'éclairage, et une étape de traitement prescrit (S30). La région d'éclairage prescrite est conçue de telle sorte que l'axe optique ne soit pas contenu dans la position de pupille d'un système optique d'éclairage, et est conçue de telle sorte que, dans la position de pupille du système optique d'observation, la lumière d'éclairage soit projetée sur une partie à l'intérieur de la pupille et vers l'extérieur de la pupille. L'étape de traitement prescrit (S30) comprend une étape (S31) pour recevoir de la lumière émise par le système optique d'observation, une étape (S32) pour calculer l'intensité de la lumière reçue, une étape (S33) pour calculer la différence entre, ou le rapport de, l'intensité de lumière et une intensité de lumière de référence, et une étape (S34) pour calculer la quantité d'inclinaison de la surface d'échantillon.
(JA)標本形状測定方法は、所定の照明領域を通過する照明光を準備するステップS10と、照明光を標本に照射するステップS20と、所定の処理ステップS30と、を有し、所定の照明領域は、照明光学系の瞳位置にて光軸を含まないように設定されると共に、照明光が観察光学系の瞳位置にて該瞳の内側の一部分と該瞳の外側に照射されるように設定され、所定の処理ステップS30は、観察光学系から出射した光を受光するステップS31と、受光した光の光量を求めるステップS32と、光量と基準の光量との差又は比を算出するステップS33と、標本の表面における傾き量を算出するステップS34と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)