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1. (WO2016181964) 薄膜の製造方法、導電膜、及びトランジスタ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/181964    国際出願番号:    PCT/JP2016/063882
国際公開日: 17.11.2016 国際出願日: 10.05.2016
IPC:
H01B 13/00 (2006.01), H01B 5/14 (2006.01), H01L 21/208 (2006.01), H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/288 (2006.01), H01L 21/336 (2006.01), H01L 29/417 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01), H01L 51/05 (2006.01), H01L 51/30 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
発明者: KAERIYAMA Shoko; (JP)
代理人: SHOYO INTELLECTUAL PROPERTY FIRM; 6F, Tobu Yokohama 2ND Bldg., 15-1, Kitasaiwai 2-chome, Nishi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2200004 (JP)
優先権情報:
2015-098026 13.05.2015 JP
発明の名称: (EN) ELECTROCONDUCTIVE FILM, TRANSISTOR, AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILM
(FR) FILM ÉLECTRO-CONDUCTEUR, TRANSISTOR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM MINCE
(JA) 薄膜の製造方法、導電膜、及びトランジスタ
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a method with which it is possible to obtain a more highly electroconductive thin film. Provided is a method for producing a thin film on a substrate, wherein the method is characterized by having a film formation step for using a liquid dispersion that contains carbon nanotubes and a surfactant to form a carbon nanotube layer, and a washing step for washing the carbon nanotube layer, the washing step being performed a plurality of times, and being performed at least once between film formation steps that are performed a plurality of times.
(FR)La présente invention a pour but de fournir un procédé avec lequel il est possible d'obtenir un film mince extrêmement électro-conducteur. La présente invention porte sur un procédé de fabrication d'un film mince sur un substrat, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend une étape de formation de film qui consiste à utiliser une dispersion liquide qui contient des nanotubes de carbone et un agent tensioactif pour former une couche de nanotubes de carbone, et une étape de lavage qui consiste à laver la couche de nanotubes de carbone, l'étape de lavage étant effectuée une pluralité de fois et au moins une fois entre les étapes de formation de film, celles-ci étant effectuées une pluralité de fois.
(JA)より導電性の高い薄膜を得る方法を提供することを目的とする。 基板上に薄膜を製造する方法であって、カーボンナノチューブと界面活性剤とを含む分散液を用いて、カーボンナノチューブ層を形成する成膜工程と、カーボンナノチューブ層を洗浄する洗浄工程と、を有し、前記洗浄工程は複数回行われ、前記洗浄工程は、複数回行われる前記成膜工程の間に少なくとも1回行われることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)