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1. (WO2016181915) 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/181915    国際出願番号:    PCT/JP2016/063692
国際公開日: 17.11.2016 国際出願日: 09.05.2016
IPC:
C23C 16/18 (2006.01), C07C 211/21 (2006.01), C07F 15/00 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01)
出願人: TANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K. [JP/JP]; 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006422 (JP)
発明者: HARADA, Ryosuke; (JP).
SHIGETOMI, Toshiyuki; (JP).
SUZUKI, Kazuharu; (JP).
NABEYA, Shunichi; (JP).
KUMAKURA, Akiko; (JP).
KOBAYASHI, Rumi; (JP).
SONE, Takayuki; (JP)
代理人: TANAKA AND OKAZAKI; Hongo K&K Bldg., 30-10, Hongo 3-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1130033 (JP)
優先権情報:
2015-096975 12.05.2015 JP
発明の名称: (EN) CHEMICAL VAPOR DEPOSITION STARTING MATERIAL COMPRISING ORGANIC PLATINUM COMPOUND, AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD USING SAID CHEMICAL VAPOR DEPOSITION STARTING MATERIAL
(FR) MATIÈRE PREMIÈRE DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR COMPRENANT UN COMPOSÉ ORGANIQUE DU PLATINE ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR UTILISANT LADITE MATIÈRE PREMIÈRE DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
(JA) 有機白金化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法
要約: front page image
(EN)The present invention relates to a chemical vapor deposition starting material represented below that comprises an organic platinum compound in which an alkenyl amine and alkyl anion are coordinated to divalent platinum. n is 1-5, inclusive. Alkenyl amine substituent groups R1-R5 are hydrogen atoms, alkyl groups or the like and all have a carbon number of 4 or less. The alkyl anions R6 and R7 are alkyl groups having a carbon number of 1-3, inclusive. The starting material of the present invention has high vapor pressure, enables production of a platinum thin film at low temperatures, and also exhibits appropriate thermal stability.
(FR)La présente invention concerne une matière première de dépôt en phase vapeur représentée ci-dessous, ladite matière comprenant un composé organique du platine dans lequel une alcénylamine et un anion alkylique sont liés par coordination au platine divalent. L'indice n vaut de 1 à 5, compris. Des groupes substituants R1 à R5 de l'alcénylamine sont des atomes d'hydrogène, des groupes alkyle ou analogue, et ils ont tous un nombre d'atomes de carbone inférieur ou égal à 4. Les anions alkyliques R6 et R7 sont des groupes alkyle ayant un nombre d'atomes de carbone de 1 à 3, compris. La matière première de la présente invention possède une pression de vapeur élevée et permet la production d'un film mince de platine à basse température. Elle présente également une stabilité thermique adéquate.
(JA)本発明は、2価の白金に、アルケニルアミン及びアルキルアニオンが配位した有機白金化合物からなり、下記に示される化学蒸着用原料に関する。下記において、nは1以上5以下である。アルケニルアミンの置換基R~Rは、それぞれ、水素原子、アルキル基等であり、且つ、いずれも炭素数4以下である。アルキルアニオンR及びRは、それぞれ、炭素数1以上3以下のアルキル基である。本発明の原料は、蒸気圧が高く、低温で白金薄膜の製造が可能であるとともに、適度な熱安定性も兼ね備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)