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1. (WO2016175133) 基板搬送ロボットおよび基板検出方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/175133    国際出願番号:    PCT/JP2016/062687
国際公開日: 03.11.2016 国際出願日: 21.04.2016
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B25J 9/06 (2006.01)
出願人: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP)
発明者: GOTO Hirohiko; (JP)
代理人: NAZUKA Satoshi; (JP)
優先権情報:
2015-090814 27.04.2015 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSPORTATION ROBOT AND SUBSTRATE DETECTION METHOD
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボットおよび基板検出方法
要約: front page image
(EN)This substrate transportation robot is provided with a raisable/lowerable robot arm, a substrate holding device (7) mounted on the robot arm, and a substrate detection means (23) for detecting a substrate held by the substrate holding device (7). The substrate detection means (23) has a substrate sensor for detecting the substrate, and sensor raising/lowering means (16, 17) for raising/lowering the substrate sensor without raising/lowering the robot arm, and scanning a region that includes the position at which the substrate is disposed. A substrate in a device provided with an opening having small dimensions can be detected without hindrance, while collisions between the robot and the device are avoided.
(FR)Ce robot de transport de substrat comprend un bras de robot pouvant être élevé/abaissé, un dispositif de maintien de substrat (7) monté sur le bras de robot, et un moyen de détection de substrat (23) servant à détecter un substrat maintenu par le dispositif de maintien de substrat (7). Le moyen de détection de substrat (23) comporte un capteur de substrat pour détecter le substrat, et des moyens d'élévation/abaissement de capteur (16, 17) pour élever/abaisser le capteur de substrat sans qu'il soit nécessaire d'élever/abaisser le bras de robot, et pour balayer une zone qui comprend la position à laquelle le substrat est disposé. Un substrat situé dans un dispositif présentant une ouverture de petite dimension, peut être détecté sans encombre, tandis que les collisions entre le robot et le dispositif sont évitées.
(JA) この基板搬送ロボットは、昇降可能なロボットアームと、ロボットアームに装着された基板保持装置(7)と、基板保持装置(7)によって保持される基板を検出するための基板検出手段(23)と、を備える。基板検出手段(23)は、基板を検出するための基板センサと、ロボットアームを昇降させることなく基板センサを昇降させて、基板の配置位置を含む領域を走査するためのセンサ昇降手段(16、17)と、を有する。小さな寸法を有する開口部を備えた装置内の基板を、ロボットと装置との衝突を防止しつつ支障なく検出できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)