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1. (WO2016175031) チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/175031    国際出願番号:    PCT/JP2016/061946
国際公開日: 03.11.2016 国際出願日: 13.04.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
出願人: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400,Oaza Yokokurashinden,Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
発明者: ISHIHARA Takanobu; (JP).
HORI Tsukasa; (JP).
SAITO Takashi; (JP).
SHIRAISHI Yutaka; (JP)
代理人: MATSUURA Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223 (JP)
優先権情報:
PCT/JP2015/062901 28.04.2015 JP
発明の名称: (EN) CHAMBER DEVICE, TARGET GENERATION METHOD, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE CHAMBRE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE CIBLE, ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成システム
要約: front page image
(EN)According to one embodiment of the present invention, a chamber device may be provided with: a chamber (2); a target generation device, which is assembled to the chamber and supplies a target material to a predetermined region in the chamber, said target generation device being provided with a tank unit (260) for storing the target material, a temperature variable device (141) that changes the temperature of the target material in the tank unit, and a nozzle unit (262) including a nozzle hole for outputting the liquid-state target material; a gas nozzle (303) that is disposed such that a gas introducing port faces the nozzle unit; a gas supply source (301) that supplies a hydrogen-containing gas to the gas nozzle such that the hydrogen-containing gas is supplied to at least the periphery of the nozzle unit; and a water removing device that removes water at least at the periphery of the nozzle unit in the chamber.
(FR)Selon un mode de réalisation de la présente invention, un dispositif de chambre peut être pourvu : d'une chambre (2); d'un dispositif de génération de cible, qui est assemblé avec la chambre et fournit un matériau cible à une région prédéterminée dans la chambre, ledit dispositif de génération de cible étant pourvu d'une unité de réservoir (260) permettant de stocker le matériau cible, d'un dispositif de variation de température (141) qui change la température du matériau cible dans l'unité de réservoir, et d'une unité de buse (262) comprenant un trou de buse permettant de délivrer en sortie le matériau cible à l'état liquide; d'une buse à gaz (303) qui est disposée de telle sorte qu'un orifice d'introduction de gaz fait face à l'unité de buse; d'une source d'alimentation en gaz (301) qui fournit un gaz contenant de l'hydrogène à la buse à gaz de telle sorte que le gaz contenant de l'hydrogène est fourni au moins à la périphérie de l'unité de buse; et d'un dispositif d'élimination de l'eau qui élimine l'eau au moins au niveau de la périphérie de l'unité de buse dans la chambre.
(JA)本開示の一態様によるチャンバ装置は、チャンバ(2)と、チャンバに組み付けられ、チャンバ内の所定領域へターゲット材料を供給するターゲット生成装置であって、ターゲット材料を貯蔵するタンク部(260)、タンク部内の前記ターゲット材料の温度を変化させる温度可変装置(141)、および、液体状のターゲット材料を出力するノズル孔を含むノズル部(262)を備えるターゲット生成装置と、ガスの導入口がノズル部へ向くように配置されたガスノズル(303)と、少なくともノズル部の周辺に水素を含むガスが供給されるようにガスノズルに水素を含むガスを供給するガス供給源(301)と、チャンバ内における少なくともノズル部周辺の水分を除去する水分除去装置と、を備えてもよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)