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1. (WO2016174921) 荷電粒子線装置、設置方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/174921    国際出願番号:    PCT/JP2016/056694
国際公開日: 03.11.2016 国際出願日: 04.03.2016
IPC:
H01J 37/16 (2006.01), H01J 37/248 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: YABU Shuhei; (JP).
KOGA Naoto; (JP).
AKATSU Mitsuo; (JP).
TAKAHIRA Isao; (JP).
TOMITA Shinichi; (JP).
NODA Hiroyuki; (JP).
MASUDA Ai; (JP)
代理人: HIRAKI Yusuke; (JP)
優先権情報:
2015-091732 28.04.2015 JP
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND INSTALLATION METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'INSTALLATION
(JA) 荷電粒子線装置、設置方法
要約: front page image
(EN)Provided is a charged particle beam device that is small, high performance, and easy to transport. A charged particle beam device (100) is provided with a detachable body unit (15) and an auxiliary unit (14), the body unit (15) housing a functional unit related to charged particle beams, and the auxiliary unit (14) housing a power source unit (9).
(FR)L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées de petite taille, haute performance, et facile à transporter. Un dispositif à faisceau de particules chargées (100) selon l'invention comprend une unité corps amovible (15) et une unité auxiliaire (14), l'unité corps (15) logeant une unité fonctionnelle associée aux faisceaux de particules chargées, et l'unité auxiliaire (14) logeant une unité de source d'alimentation (9).
(JA)小型ながら高性能で搬送も容易な荷電粒子線装置を提供する。 荷電粒子線装置(100)は、着脱可能な本体ユニット(15)と補助ユニット(14)を備え、前記本体ユニット(15)は荷電粒子線に関する機能部を収容し、前記補助ユニット(14)は電源部(9)を収容する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)