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1. (WO2016174891) 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/174891    国際出願番号:    PCT/JP2016/053691
国際公開日: 03.11.2016 国際出願日: 08.02.2016
IPC:
H01J 37/153 (2006.01), H01J 37/145 (2006.01)
出願人: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGOYA UNIVERSITY [JP/JP]; 1, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi 4648601 (JP)
発明者: KAWASAKI Tadahiro; (JP).
TANJI Takayoshi; (JP).
IKUTA Takashi; (JP)
代理人: KAI-U PATENT LAW FIRM; NAGOYA LUCENT TOWER 9F, 6-1, Ushijima-cho,Nishi-ku, Nagoya-shi, Aichi 4516009 (JP)
優先権情報:
2015-090241 27.04.2015 JP
発明の名称: (EN) SPHERICAL ABERRATION CORRECTION DEVICE FOR CHARGED PARTICLE BEAM ELECTROMAGNETIC LENS
(FR) DISPOSITIF DE CORRECTION D'ABERRATION SPHÉRIQUE POUR LENTILLE ÉLECTROMAGNÉTIQUE DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置
要約: front page image
(EN)The present invention addresses the problem that an electromagnetic lens for a charged particle beam exerts a positive spherical aberration, and that correcting this spherical aberration requires a complex combination of electromagnetic lenses. In the present invention, one among a circular aperture and an annular aperture is formed in an entry plate disposed on a charged particle beam entry side, the other among the circular aperture and the annular aperture is formed in a plate disposed on the exit side, and a voltage is applied between the entry plate and an exit plate. Then, an electric field formed in the annular aperture exerts divergence whereby the positive spherical aberration is canceled. The present invention allows the spherical aberration to be corrected with an extremely simple and readily achievable structure.
(FR)La présente invention aborde le problème selon lequel une lentille électromagnétique pour un faisceau de particules chargées exerce une aberration sphérique positive, et selon lequel la correction de cette aberration sphérique nécessite une combinaison complexe de lentilles électromagnétiques. Dans la présente invention, une ouverture parmi une ouverture circulaire et une ouverture annulaire est formée dans une plaque d'entrée disposée sur un côté d'entrée de faisceau de particules chargées, l'autre ouverture parmi l'ouverture circulaire et l'ouverture annulaire est formée dans une plaque disposée sur le côté de sortie, et une tension est appliquée entre la plaque d'entrée et une plaque de sortie. Ensuite, un champ électrique formé dans l'ouverture annulaire exerce une divergence, moyennant quoi l'aberration sphérique positive est annulée. La présente invention permet à l'aberration sphérique d'être corrigée avec une structure extrêmement simple et facilement réalisable.
(JA)荷電粒子ビーム用の電磁レンズは正の球面収差をもたらす。その球面収差を補正するには複雑な電磁レンズの組み合わせが必要であった。本発明では、荷電粒子ビームの入射側に配置する入射プレートに円形開孔または円環開孔の一方を形成し、射出側に配置するプレートに円形開孔または円環開孔の他方を形成し、入射プレートと射出プレートの間に電圧を加える。すると円環開孔に形成される電場が、正の球面収差を解消する発散をもたらす。本発明により、極めて単純であって容易に実施できる構造によって球面収差を補正することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)