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1. WO2016170703 - イオンビーム引出し用電極、イオン源

公開番号 WO/2016/170703
公開日 27.10.2016
国際出願番号 PCT/JP2015/078594
国際出願日 08.10.2015
IPC
H01J 27/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
27イオンビーム管
02イオン源;イオン銃
H01J 37/08 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
08イオン源;イオン銃
CPC
H01J 27/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
H01J 37/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
08Ion sources; Ion guns
出願人
  • 日新イオン機器株式会社 NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 甲斐 裕章 KAI Hiroaki
  • 井内 裕 INOUCHI Yutaka
  • 西村 一平 NISHIMURA Ippei
優先権情報
2015-08643221.04.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ION BEAM EXTRACTION ELECTRODE AND ION SOURCE
(FR) ÉLECTRODE D'EXTRACTION DE FAISCEAU D'IONS ET SOURCE D'IONS
(JA) イオンビーム引出し用電極、イオン源
要約
(EN)
To improve maintainability of an ion beam extraction electrode. An ion beam extraction electrode (E) is equipped with: an electrode unit (1) that is provided with openings which ion beams pass through; and a supporting frame (11) that fixes and supports the electrode unit (1). A cooling medium flow channel (12) is formed in the supporting frame (11), and the supporting frame is provided with a shift regulation unit (13) that limits, at the time when the electrode unit (1) is disposed on the supporting frame (11), a shift of the electrode unit (1) within a plane substantially perpendicular to the direction in which the ion beams pass through.
(FR)
La présente invention concerne l'amélioration de la facilité d'entretien d'une électrode d'extraction de faisceau d'ions. Une électrode d'extraction de faisceau d'ions (E) comporte : une unité d'électrode (1) qui est dotée d'ouvertures que les faisceaux d'ions traversent ; et un cadre de support (11) qui fixe et supporte l'unité d'électrode (1). Un canal d'écoulement de milieu de refroidissement (12) est formé dans le cadre de support (11) et le cadre de support est pourvu d'une unité de régulation de décalage (13) qui limite, au moment où l'unité d'électrode (1) est disposée sur le cadre de support (11), un décalage de l'unité d'électrode (1) dans un plan sensiblement perpendiculaire à la direction empruntée par les faisceaux d'ions en traversant.
(JA)
イオンビーム引出し用電極のメンテナンス性の向上を図る。 イオンビーム引出し用電極(E)は、イオンビームが通過する開口部を備えた電極部(1)と、電極部(1)が固定支持される支持枠(11)とを備えていて、支持枠(11)に冷媒流路(12)が形成されているとともに、電極部(1)が支持枠(11)上に配置された際、イオンビームが通過する方向と略垂直な面内で、電極部(1)の移動を制限する移動規制部(13)を備えている。
他の公開
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