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1. WO2016167342 - 架橋ポリマー構造体及びその使用

公開番号 WO/2016/167342
公開日 20.10.2016
国際出願番号 PCT/JP2016/062099
国際出願日 15.04.2016
IPC
G03F 7/095 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
09構造の細部,例.支持体,補助層,に特徴のあるもの
0952つ以上の感光層をもつもの
B32B 27/16 2006.01
B処理操作;運輸
32積層体
B積層体,すなわち平らなまたは平らでない形状,例.細胞状またはハニカム状,の層から組立てられた製品
27本質的に合成樹脂からなる積層体
16特殊処理をしたもの,例.放射線処理,をしたもの
C08L 101/06 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
L高分子化合物の組成物
101不特定の高分子化合物の組成物
02特定の基の存在に特徴のあるもの
06酸素原子を含むもの
C12M 3/00 2006.01
C化学;冶金
12生化学;ビール;酒精;ぶどう酒;酢;微生物学;酵素学;突然変異または遺伝子工学
M酵素学または微生物学のための装置
3組織,ヒト,動物または植物細胞,あるいはウイルスの培養装置
CPC
B32B 2255/10
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2255Coating on the layer surface
10on synthetic resin layer or on natural or synthetic rubber layer
B32B 27/16
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
27Layered products comprising ; a layer of; synthetic resin
16specially treated, e.g. irradiated
C08L 101/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
101Compositions of unspecified macromolecular compounds
02characterised by the presence of specified groups ; , e.g. terminal or pendant functional groups
06containing oxygen atoms
C12M 25/02
CCHEMISTRY; METALLURGY
12BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
MAPPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
25Means for supporting, enclosing or fixing the microorganisms, e.g. immunocoatings
02Membranes; Filters
C12M 25/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
12BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
MAPPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
25Means for supporting, enclosing or fixing the microorganisms, e.g. immunocoatings
14Scaffolds; Matrices
G03F 7/038
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
004Photosensitive materials
038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
出願人
  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP]/[JP]
発明者
  • 須丸 公雄 SUMARU Kimio
  • 高木 俊之 TAKAGI Toshiyuki
  • 森下 加奈 MORISHITA Kana
  • 金森 敏幸 KANAMORI Toshiyuki
代理人
  • 志賀 正武 SHIGA Masatake
優先権情報
2015-08532217.04.2015JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CROSSLINKED POLYMER STRUCTURE AND USE FOR SAME
(FR) STRUCTURE DE POLYMÈRE RÉTICULÉ ET SON UTILISATION
(JA) 架橋ポリマー構造体及びその使用
要約
(EN)
A method for manufacturing a crosslinked polymer structure provided with: a step (a) for layering a photo-dissoluble polymer layer on a substrate; a step (b) for layering a layer containing a crosslinkable polymer on the photo-dissoluble polymer layer; a step (c) for irradiating the layer containing the crosslinkable polymer with light in a pattern under crosslinking conditions, and crosslinking the crosslinkable polymer in the pattern to obtain a crosslinked polymer sheet; a step (d) for washing away the crosslinkable polymer that was not crosslinked, and obtaining a patterned crosslinked polymer sheet; and a step (e) for irradiating the photo-dissoluble polymer layer with light in the pattern in dissolution conditions, dissolving the photo-dissoluble polymer layer in the pattern, and separating the crosslinked polymer sheet from the substrate in the pattern.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour fabriquer une structure de polymère réticulé, qui comprend : une étape (a) pour superposer une couche de polymère photo-soluble sur un substrat ; une étape (b) pour superposer une couche contenant un polymère réticulable sur la couche de polymère photo-soluble ; une étape (c) pour irradier la couche contenant le polymère réticulable avec une lumière dans un motif dans des conditions de réticulation, et réticuler le polymère réticulable dans le motif pour obtenir une feuille de polymère réticulé ; une étape (d) pour enlever le polymère réticulable qui n'a pas été réticulé, et obtenir une feuille de polymère réticulé à motifs ; et une étape (e) pour irradier la couche de polymère photo-soluble avec la lumière dans le motif dans des conditions de dissolution, dissoudre la couche de polymère photo-soluble dans le motif, et séparer la feuille de polymère réticulé du substrat dans le motif.
(JA)
基板上に光溶解性ポリマー層を積層する工程(a)と、前記光溶解性ポリマー層上に架橋性ポリマーを含有する層を積層する工程(b)と、前記架橋性ポリマーを含有する層に、架橋条件下でパターン状に光を照射して、前記架橋性ポリマーをパターン状に架橋させて架橋ポリマーシートを得る工程(c)と、架橋しなかった前記架橋性ポリマーを洗浄除去し、パターン状の前記架橋ポリマーシートを得る工程(d)と、前記光溶解性ポリマー層に、溶解条件下でパターン状に光を照射して、前記光溶解性ポリマー層をパターン状に溶解させ、前記架橋ポリマーシートをパターン状に基板から剥離させる工程(e)と、を備える、架橋ポリマー構造体の製造方法。
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