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1. (WO2016163355) 変位測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/163355    国際出願番号:    PCT/JP2016/061110
国際公開日: 13.10.2016 国際出願日: 05.04.2016
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G01C 3/06 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310 (JP)
発明者: TAKUSHIMA, Shigeru; (JP).
KAWANO, Hiroyuki; (JP).
YUZAWA, Takashi; (JP).
KUROKAWA, Toshiaki; (JP)
代理人: INABA, Tadahiko; (JP)
優先権情報:
2015-080203 09.04.2015 JP
発明の名称: (EN) DISPLACEMENT MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE DÉPLACEMENT
(JA) 変位測定装置
要約: front page image
(EN)The present invention measures the displacement of the surface of an object with a high degree of accuracy without a significant increase in measurement time when the surface of the object has fine protrusions and recesses. A displacement measurement device is provided with a projection optical system (21) for irradiating irradiation light focused onto a position to be irradiated (25) on a surface to be irradiated (131) of an object; a light reception optical system (22) that has an optical axis that intersects diagonally with the optical axis of the projection optical system (21) and focuses reflection light, which is irradiation light reflected by the position to be irradiated (25), onto the light reception surface of an imaging element (223); and a driving stage that moves the projection optical system (21) and object in relation to each other so that the position to be irradiated (25) does not stop during the exposure time of the imaging element (223), and measures the displacement of the surface to be irradiated (131) by measuring the displacement of the focal position of the reflection light on the light reception surface.
(FR)La présente invention permet de mesurer le déplacement de la surface d'un objet avec un haut niveau de précision sans une augmentation significative de temps de mesure lorsque la surface de l'objet présente des parties saillantes et des évidements fins. Un dispositif de mesure de déplacement est pourvu d'un système optique de projection (21) pour irradier une lumière d'irradiation focalisée sur un point à irradier (25) d'une surface à irradier (131) d'un objet; un système optique de réception de lumière (22) qui comporte un axe optique qui coupe en diagonale l'axe optique du système optique de projection (21) et focalise la lumière de réflexion, qui la lumière d'irradiation réfléchie par le point à irradier (25), sur la surface de réception de lumière d'un élément d'imagerie (223); et un étage d'entraînement qui déplace le système optique de projection (21) et l'objet l'un par rapport à l'autre de sorte que le point à irradier (25) soit mobile pendant le temps d'exposition de l'élément d'imagerie (223), et mesure le déplacement de la surface à irradier (131) en mesurant le déplacement de la position focale de la lumière de réflexion sur la surface de réception de lumière.
(JA)対象物の表面に微細な凹凸が存在する場合に、測定時間の大幅な増加を伴わず、高精度に対象物の表面の変位を測定する。対象物の被照射面(131)における被照射位置(25)に集光された照射光を照射する投光光学系(21)と、投光光学系(21)の光軸と斜めに交わる光軸を有しており、照射光が被照射位置(25)で反射された反射光を撮像素子(223)の受光面に集光する受光光学系(22)と、撮像素子(223)の露光時間中は、投光光学系(21)と対象物とを相対的に移動させて被照射位置(25)を静止させることなく移動させる駆動ステージとを備え、受光面における反射光の集光位置の変位を計測することで被照射面(131)の変位を測定する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)