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1. (WO2016158648) 化学機械研磨用処理組成物、化学機械研磨方法および洗浄方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/158648    国際出願番号:    PCT/JP2016/059324
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 24.03.2016
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 9-2, Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640 (JP)
発明者: HAYAMA, Takahiro; (JP).
MITSUBOSHI, Ran; (JP).
KAMEI, Yasutaka; (JP).
NISHIGUCHI, Naoki; (JP).
MITSUMOTO, Kiyotaka; (JP).
KAMO, Satoshi; (JP).
IIDA, Masashi; (JP)
代理人: OFUCHI, Michie; (JP)
優先権情報:
2015-068355 30.03.2015 JP
発明の名称: (EN) PROCESSING COMPOSITION FOR POLISHING CHEMICAL MACHINERY, AND CHEMICAL MACHINERY POLISHING METHOD AND WASHING METHOD
(FR) COMPOSITION DE TRAITEMENT PERMETTANT LE POLISSAGE DE MACHINES CHIMIQUES, PROCÉDÉ DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE LAVAGE DE MACHINES CHIMIQUES
(JA) 化学機械研磨用処理組成物、化学機械研磨方法および洗浄方法
要約: front page image
(EN)The processing composition for polishing chemical machinery according to the present invention is characterized by containing (A) a water-soluble amine, (B) a water-soluble polymer having a repeating unit including an aromatic hydrocarbon group, and an aqueous medium. Preferably, the processing composition contains (C) an organic acid having an aromatic hydrocarbon group, and has a pH not lower than 9.
(FR)L'invention concerne une composition de traitement permettant le polissage de machines chimiques caractérisée en ce qu'elle contient (A) une amine soluble dans l'eau, (B) un polymère soluble dans l'eau ayant une unité de répétition comprenant un groupe hydrocarbure aromatique et un milieu aqueux. De préférence, la composition de traitement contient (C) un acide organique ayant un groupe hydrocarbure aromatique, et a un pH qui n'est pas inférieur à 9.
(JA) 本発明に係る化学機械研磨用処理組成物は、(A)水溶性アミン、(B)芳香族炭化水素基を有する繰り返し単位を有する水溶性重合体、および水系媒体を含み、好ましくは(C)芳香族炭化水素基を有する有機酸を含有し、pHが9以上であることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)