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1. (WO2016158301) 基板吸着装置及び基板吸着方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/158301    国際出願番号:    PCT/JP2016/057636
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 10.03.2016
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B25J 15/06 (2006.01)
出願人: MEIKO ELECTRONICS CO., LTD. [JP/JP]; 5-14-15, Ogami, Ayase-shi, Kanagawa 2521104 (JP)
発明者: SHINGAI, Noboru; (JP).
KAWADA, Shigeru; (JP).
TAKAHASHI, Nobuyuki; (JP)
代理人: NAGATO, Kanji; (JP)
優先権情報:
PCT/JP2015/060170 31.03.2015 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE SUCTIONING DEVICE AND SUBSTRATE SUCTIONING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ASPIRATION DE SUBSTRAT
(JA) 基板吸着装置及び基板吸着方法
要約: front page image
(EN)This substrate suction device is provided with: a suctioning unit (2) which contacts a substrate (31) and is provided with multiple suction holes; a suction hole connecting unit (3) which is provided with a suction port (15b) for sucking the internal gas from the shared internal space formed in conjunction with the suctioning unit; and a plate-shape suction hole opening and closing unit (4) which is provided inside of the suctioning unit and which comprises multiple valve bodies (21) for opening and closing the suction holes. The valve bodies are provided with a closing plate (22) which closes the suction holes by contacting the inner surface (8a) of the suctioning unit exposed by the suction holes, and with an elastic support plate (23) which supports the closing plate so as to enable displacement in the extension direction of the suction hole. The aforementioned elastic support plate includes an annular unit (24) formed concentrically about the closing plate, an opening unit (27) positioned between the closing plate and the annular unit, and a linking unit (26) linking the closing plate and the annular unit, wherein the closing plate moves from the state before suctioning the substrate in a parallel manner towards the inside surface, closing the suction holes.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'aspiration de substrat comprenant : une unité d'aspiration (2) qui est en contact avec un substrat (31) et qui est pourvue de multiples trous d'aspiration ; une unité de connexion de trou d'aspiration (3) qui est pourvue d'un orifice d'aspiration (15b) destiné à aspirer le gaz interne depuis l'espace interne partagé formé conjointement avec l'unité d'aspiration ; et une unité d'ouverture et de fermeture (4) de trou d'aspiration en forme de plaque qui est disposée à l'intérieur de l'unité d'aspiration et qui comprend de multiples corps de valve (21) destinées à ouvrir et fermer les trous d'aspiration. Les corps de valve sont pourvus d'une plaque de fermeture (22) qui ferme les trous d'aspiration en venant en contact de la surface intérieure (8a) de l'unité d'aspiration exposée par les trous d'aspiration, et d'une plaque support élastique (23) qui supporte la plaque de fermeture de manière à permettre le déplacement dans le sens de l'extension du trou d'aspiration. La plaque support élastique mentionnée précédemment comprend une unité annulaire (24) formée de manière concentrique autour de la plaque de fermeture, une unité d'ouverture (27) positionnée entre la plaque de fermeture et l'unité annulaire, et une unité de liaison (26) qui relie la plaque de fermeture et l'unité annulaire. La plaque de fermeture se déplace, depuis l'état avant l'aspiration du substrat, de manière parallèle en direction de la surface intérieure, fermant ainsi les trous d'aspiration.
(JA) 基板(31)に当接し、複数の吸引孔を備える吸着部(2)と、前記吸着部と協働して形成する内部共有空間から前記内部ガスを吸引するための吸引口(15b)を備える吸引孔連結部(3)と、前記吸着部に内設され、前記吸引孔の開閉を行う複数の弁体(21)を備える板状の吸引孔開閉部(4)と、前記弁体は、前記吸引孔によって露出した前記吸着部の内側表面(8a)に当接して前記吸引孔を閉塞する閉塞板(22)、前記閉塞板を前記吸引孔の延在方向に変位可能に支持する弾性支持板(23)を備え、前記弾性支持板は、前記閉塞板を中心として同心状に形成された環状部(24)、前記閉塞板と前記環状部との間に位置する開口部(27)、及び前記閉塞板と前記環状部とを連結する連結部(26)を含み、前記閉塞板は、前記基板を吸引する前の状態から前記内側表面に向って平行移動して前記吸引孔を閉塞すること。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)