WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016158181) 窒素含有Cu合金膜、積層膜、およびこれらの製造方法、ならびにCu合金スパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/158181    国際出願番号:    PCT/JP2016/056491
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 02.03.2016
IPC:
C23C 14/06 (2006.01), B32B 15/01 (2006.01), C23C 14/14 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO(KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP)
発明者: SHIDA, Yoko; (--).
GOTO, Hiroshi; (--).
KUGIMIYA, Toshihiro; (--)
代理人: UEKI, Kyuichi; (JP)
優先権情報:
2015-069999 30.03.2015 JP
発明の名称: (EN) NITROGEN-CONTAINING Cu ALLOY FILM, MULTILAYER FILM, METHOD FOR PRODUCING NITROGEN-CONTAINING Cu ALLOY FILM OR MULTILAYER FILM, AND Cu ALLOY SPUTTERING TARGET
(FR) FILM EN ALLIAGE DE CUIVRE CONTENANT DE L'AZOTE, FILM MULTICOUCHE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM EN ALLIAGE DE CUIVRE CONTENANT DE L'AZOTE OU D'UN FILM MULTICOUCHE ET CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE DE CUIVRE
(JA) 窒素含有Cu合金膜、積層膜、およびこれらの製造方法、ならびにCu合金スパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)Provided is a nitrogen-containing Cu alloy film, which has high electrical conductivity and improved visibility, while having excellent wiring line processability, and which is useful, for example, as a low reflection wiring line. This nitrogen-containing Cu alloy film is characterized by containing at least one element X selected from among Ni and Al, with the balance made up of Cu and unavoidable impurities. This nitrogen-containing Cu alloy film is also characterized in that if the film is partially nitrided and has a thickness of 50 nm, the reflectance thereof at a wavelength of 650 nm is 45% or less and the optical absorptance thereof at a wavelength of 650 nm is 40% or more.
(FR)L'invention concerne un film en alliage de cuivre contenant de l'azote qui présente une conductivité électrique élevée et une visibilité améliorée, tout en ayant une excellente aptitude au traitement en tant que ligne de câblage, et qui est utile, par exemple comme ligne de câblage à faible réflexion. Ce film en alliage de cuivre contenant de l'azote est caractérisé en ce qu'il contient au moins un élément X choisi parmi Ni et Al, le reste étant constitué de Cu et des impuretés inévitables. Ce film en alliage de cuivre contenant de l'azote est également caractérisé en ce que si le film est partiellement nitruré et présente une épaisseur de 50 nm, son facteur de réflexion à une longueur d'onde de 650 nm est de 45 % ou moins et son facteur d'absorption optique à une longueur d'onde de 650 nm est de 40 % ou plus.
(JA)高い導電性を示すと共に視認性が改善され、かつ配線加工性にも優れた、例えば低反射配線として有用な窒素含有Cu合金膜を提供する。該窒素含有Cu合金膜は、NiとAlから選択される少なくとも1種のX元素を含み、残部がCuおよび不可避不純物であり、膜の一部が窒化し、かつ、膜厚が50nmである場合の、波長650nmの反射率が45%以下であると共に、波長650nmの光吸収率が40%以上であることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)