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1. (WO2016158032) 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/158032    国際出願番号:    PCT/JP2016/054174
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 12.02.2016
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/30 (2006.01)
出願人: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585 (JP)
発明者: KASHIYAMA Masahito; (JP)
代理人: SUGITANI Tsutomu; (JP)
優先権情報:
2015-066617 27.03.2015 JP
発明の名称: (EN) TREATMENT LIQUID SUPPLY DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING TREATMENT LIQUID SUPPLY DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN LIQUIDE DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN LIQUIDE DE TRAITEMENT
(JA) 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法
要約: front page image
(EN)A needle 62 and a diaphragm 66 which moves together with the needle 62 are provided downstream of an on-off valve 17. The needle 62 is driven by a motor 68. When the on-off valve 17 is in an off state, a control unit 31 causes the diaphragm 66, which moves together with the needle 62, to move by means of the motor 68, thereby increasing the volume of a flow path downstream of the on-off valve 17. Suck-back can thus be carried out, and the treatment liquid can be prevented from dripping. Further, when the on-off valve 17 is in an on state, the control unit 31 adjusts the flow rate of the treatment liquid by causing the needle 62 to move by means of the motor 68. In this way it is simple to adjust the flow rate of the treatment liquid, which was previously adjusted by feel by an operator. Further, the same motor 68 can be used to prevent dripping of the treatment liquid, and to adjust the flow rate of the treatment liquid, and therefore waste in the configuration can be eliminated and space savings can be achieved.
(FR)Selon l'invention, un pointeau (62) et une membrane (66) qui se déplace conjointement avec le pointeau (62) sont disposés en aval d'une vanne tout ou rien (17). Le pointeau (62) est entraîné par un moteur (68). Quand la vanne tout ou rien (17) est dans un état fermé, une unité de commande (31) amène la membrane (66), qui se déplace conjointement avec le pointeau (62), à se déplacer au moyen du moteur (68), ce qui permet d'augmenter le volume d'un passage d'écoulement en aval de la vanne tout ou rien (17). Une aspiration vers l'arrière peut ainsi être réalisée, et le liquide de traitement peut être empêché de dégoutter. En outre, quand la vanne tout ou rien (17) est dans un état ouvert, l'unité de commande (31) ajuste le débit du liquide de traitement par provocation d'un déplacement du pointeau (62) au moyen du moteur (68). De cette manière, il est simple d'ajuster le débit du liquide de traitement, qui a été préalablement ajusté au jugé par un opérateur. En outre, le même moteur (68) peut être utilisé pour empêcher le dégouttement du liquide de traitement et pour ajuster le débit du liquide de traitement, et par conséquent, un gaspillage dans la configuration peut être éliminé et des économies d'espace peuvent être réalisées.
(JA) 開閉弁17よりの下流には、ニードル62と、ニードル62と連動するダイアフラム66が設けられている。ニードル62は、モータ68で駆動される。制御部31は、開閉弁17が閉状態の際に、モータ68でニードル62と連動するダイアフラム66を移動させて開閉弁17より下流の流路の体積を大きくする。そのため、サックバックでき、処理液のぼた落ちを防止できる。また、制御部31は、開閉弁17が開状態の際に、モータ68でニードル62を移動させて処理液の流量を調整する。そのため、操作者の感覚により調整されていた処理液の流量調整を容易に調整できる。また、同一のモータ68で、処理液のぼた落ち防止と流量調整ができるので、構成の無駄を省き、省スペースなものにすることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)