WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016157771) カソードアッセンブリ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/157771    国際出願番号:    PCT/JP2016/001461
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 15.03.2016
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
発明者: NAKAMURA, Shinya; (JP).
YAMAMOTO, Hiroki; (JP)
代理人: SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
優先権情報:
2015-071607 31.03.2015 JP
発明の名称: (EN) CATHODE ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE CATHODE
(JA) カソードアッセンブリ
要約: front page image
(EN)Provided is a cathode assembly capable of reliably preventing a joining material for joining a target and a backing plate from spreading out toward the exterior, while also suppressing abnormal discharge between an extension section of the backing plate and the lateral side surfaces of the target. This cathode assembly for a sputtering device is provided with a target 2 made of an insulating material, a backing plate 3 that is joined to one surface of the target, and an annular shield plate 4 that, with the target side of the backing plate below, is disposed facing an extension section 31 on the underside of the backing plate that extends outward from the peripheral end of the target. The backing plate has a joining section 32 that protrudes with respect to the extension section thereof. An inner peripheral edge 41 of the shield plate is positioned in a space between the extension section of the backing plate, and a projecting section 21 on the target that projects outward from the joining section when the joining section is joined to the target.
(FR)L'invention concerne un ensemble cathode apte à empêcher de façon fiable un matériau de liaison qui lie une cible et une plaque de support de dépasser vers l'extérieur, tout en supprimant les décharges anormales entre une partie d'extension de la plaque de support et les côtés latéraux de la cible. Un ensemble cathode pour un dispositif de pulvérisation cathodique selon la présente invention est pourvu d'une cible (2) constituée d'un matériau isolant, d'une plaque de support (3) liée à une surface de la cible et d'une plaque écran annulaire (4), le côté cible de la plaque de support étant une face inférieure placée en regard d'une partie d'extension (31) sur la face inférieure de la plaque de support qui s'étend vers l'extérieur depuis le bord périphérique de la cible et possédant une partie de connexion (32) qui fait saillie à partir de la partie d'extension de la plaque de support, une partie périphérique interne (41) de la plaque écran étant positionnée dans un espace entre une partie en saillie (21) sur la cible qui fait saillie au-delà de la partie de connexion lorsque la partie de connexion est liée à la cible et à la partie d'extension de la plaque de support.
(JA) バッキングプレートの延出部分とターゲット側面との間での異常放電の発生を抑制しつつ、ターゲットとバッキングプレートとを接合するボンディング材の外部への滲み出しを確実に防止できるようにしたカソードアッセンブリを提供する。 絶縁物製のターゲット2と、このターゲットの一方の面に接合されるバッキングプレート3と、バッキングプレートのターゲット側を下として、ターゲットの外周端より外方に延出したバッキングプレートの下側の延出部分31に対向配置される環状のシールド板4とを備える本発明のスパッタリング装置用のカソードアッセンブリは、バッキングプレートが延出部分に対して凸設された接合部32を有し、この接合部にターゲットを接合した状態で接合部から外方に張り出したターゲットの張出部分21と、バッキングプレートの延出部分との間の隙間に、シールド板の内周縁部41を位置させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)