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1. (WO2016157697) 露光装置及び露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/157697    国際出願番号:    PCT/JP2016/000908
国際公開日: 06.10.2016 国際出願日: 19.02.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 3/00 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G02B 26/02 (2006.01)
出願人: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-6-1, Ote-machi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
発明者: OTSUKA, Akira; (JP)
代理人: KONISHI, Kay; (JP)
優先権情報:
2015-068555 30.03.2015 JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D’EXPOSITION ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION
(JA) 露光装置及び露光方法
要約: front page image
(EN)Provided are an exposure device and an exposure method which allow high efficiency and extended lifespan of a spatial light modulator to be achieved. An exposure device (100) is provided with: a microlens array (142) where an array of microlenses for collecting light from a light source are disposed; a spatial light modulation element (digital micromirror device) (12) where pixels for modulating the light collected by the microlens array (142) are disposed; a first focusing optical system (143) for focusing the light collected by the microlens array (142) onto the spatial light modulation element (12); and a second focusing optical system (16) for focusing the light modulated by the spatial light modulation element (12) onto a photosensitive material.
(FR)L’invention concerne un dispositif d’exposition et un procédé d’exposition permettant de doter un modulateur spatial de lumière d’une haute efficacité et d’une durée de vie prolongée. Un dispositif d’exposition (100) selon l’invention comprend : un réseau de microlentilles (142) constitué d’un réseau de microlentilles destinées à capter la lumière émanant d’une source de lumière ; un élément de modulation spatiale de lumière (matrice de micromiroirs) (12) constitué de pixels destinés à moduler la lumière captée par le réseau de microlentilles (142) ; un premier système optique de focalisation (143) destiné à focaliser la lumière captée par le réseau de microlentilles (142) sur l’élément de modulation spatiale de lumière (12) ; et un deuxième système optique de focalisation (16) destiné à focaliser la lumière modulée par l’élément de modulation spatiale de lumière (12) sur un matériau photosensible.
(JA) 空間光変調素子の高効率化や長寿命化を図ることができる露光装置及び露光方法が開示される。露光装置(100)は、光源からの光を集光するマイクロレンズがアレイ状に配列されたマイクロレンズアレイ(142)と、マイクロレンズアレイ(142)によって集光された光を変調する画素部が配列された空間光変調素子(デジタル・マイクロミラー・デバイス)(12)と、マイクロレンズアレイ(142)によって集光された光を空間光変調素子(12)に結像する第一の結像光学系(143)と、空間光変調素子(12)によって変調された光を感光材料上に結像する第二の結像光学系(16)と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)