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1. (WO2016047693) シリコン単結晶の製造方法及び製造システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/047693    国際出願番号:    PCT/JP2015/076950
国際公開日: 31.03.2016 国際出願日: 24.09.2015
IPC:
C30B 15/00 (2006.01), C30B 29/06 (2006.01)
出願人: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku Tokyo 1058634 (JP)
発明者: SATO Tadahiro; (JP).
KITAHARA Eriko; (JP).
SUDO Toshiaki; (JP).
KITAHARA Ken; (JP)
代理人: WASHIZU Mitsuhiro; (JP)
優先権情報:
2014-193252 24.09.2014 JP
発明の名称: (EN) MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING SYSTEM FOR SILICON SINGLE CRYSTAL
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SYSTÈME DE FABRICATION POUR UN MONOCRISTAL DE SILICIUM
(JA) シリコン単結晶の製造方法及び製造システム
要約: front page image
(EN)[Problem] To estimate in advance an initial liquid surface level of a silicon melt in a silica glass crucible by accurately ascertaining the volume of the individual silica glass crucible so as to securely perform a seed-crystal liquid contact step. [Solution] In the present invention, before a silica glass crucible is filled with raw material, the spatial coordinates of numerous points on the inner surface of the silica glass crucible are measured and the three-dimensional shape of the inner surface of the silica glass crucible is identified by combining polygons with the measured points as apex coordinates (S11), an estimated value of the initial liquid surface level of silicon melt in the silica glass crucible is set (S12), a volume of silicon melt that meets the estimated value of the initial liquid surface level is determined on the basis of the three-dimensional shape of the inner surface of the silica glass crucible (S13), the weight of the silicon melt with that volume is determined (S14), raw material with that weight is loaded into the silica glass crucible (S15), and liquid contact with a seed crystal is controlled on the basis of the estimated value of the initial liquid surface level (S17).
(FR)Le problème décrit par la présente invention a pour objet d'évaluer à l'avance un niveau initial de surface de liquide d'une masse fondue de silicium dans un creuset en verre de silice par évaluation avec précision du volume du creuset en verre de silice individuel de manière à effectuer de manière sûre une étape de mise en contact germe cristallin-liquide. Selon la solution décrite par la présente invention, avant qu'un creuset en verre de silice soit rempli de matière première, les coordonnées spatiales de nombreux points sur la surface interne du creuset en verre de silice sont mesurées et la forme tridimensionnelle de la surface interne du creuset en verre de silice est identifiée par combinaison de polygones formés avec les points mesurés en tant que coordonnées de sommet (S11), une valeur évaluée du niveau initial de la surface de liquide de matière fondue de silicium dans le creuset en verre de silice est réglée (S12), un volume de masse fondue de silicium qui satisfait à la valeur évaluée du niveau initial de la surface de liquide est déterminé sur la base de la forme tridimensionnelle de la surface interne du creuset en verre de silice (S13), le poids de la masse fondue de silicium ayant ce volume est déterminé (S14), de la matière première ayant ce poids est chargée dans le creuset en verre de silice (S15) et la mise en contact du liquide avec un germe cristallin est commandée sur la base de la valeur évaluée du niveau initial de la surface de liquide (S17).
(JA)【課題】個々のシリカガラスルツボの容積を正確に把握してシリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルを事前に予測し、これにより種結晶の着液工程を確実に行う。 【解決手段】シリカガラスルツボ内に原料を充填する前にシリカガラスルツボの内表面上の多数点の空間座標を測定し、各測定点を頂点座標とするポリゴンの組み合わせからシリカガラスルツボの内表面の3次元形状を特定し(S11)、シリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルの予測値を予め設定し(S12)、シリカガラスルツボの内表面の3次元形状に基づいて、初期液面レベルの予測値を満たすシリコン融液の体積を求め(S13)、前記体積を有するシリコン融液の重量を求め(S14)、前記重量を有する原料をシリカガラスルツボに充填し(S15)、初期液面レベルの予測値に基づいて種結晶の着液制御を行う(S17)。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)