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1. (WO2016047679) 基板処理装置及び基板処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/047679    国際出願番号:    PCT/JP2015/076906
国際公開日: 31.03.2016 国際出願日: 24.09.2015
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
出願人: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP)
発明者: KOBAYASHI, Kenichi; (JP).
YOKOYAMA, Toshio; (JP)
代理人: ONO, Shinjiro; (JP)
優先権情報:
2014-196353 26.09.2014 JP
発明の名称: (EN) BOARD PROCESSING APPARATUS AND BOARD PROCESSING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE CARTE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE CARTE
(JA) 基板処理装置及び基板処理方法
要約: front page image
(EN)When a board and a board holder are soaked into a processing liquid, the reduction of temperature of the processing liquid can be suppressed without degrading the throughput of board processing. A board processing apparatus of the invention comprises: a holder cabinet 41 for keeping a board holder 80; and a heating device 44 that is disposed in the holder cabinet 41 and that is configured to heat the board holder 80 kept in the holder cabinet 41.
(FR)Selon la présente invention, lorsqu'une carte et un support de carte sont trempés dans un liquide de traitement, la diminution de température du liquide de traitement peut être supprimée sans dégrader le débit de traitement de cartes. Un appareil de traitement de carte selon l'invention comprend : une armoire de support (41) pour maintenir un support de carte (80) ; et un dispositif de chauffage (44) qui est disposé dans l'armoire de support (41) et qui est conçu pour chauffer le support de carte (80) maintenu dans l'armoire de support (41).
(JA) 基板処理のスループットを低下させることなく、基板及び基板ホルダを処理液に浸漬したときに処理液の温度が低下することを抑制する。 本発明に係る基板処理装置は、基板ホルダ80を保管するためのホルダストッカ41と、ホルダストッカ41に設けられ、ホルダストッカ41に保管される基板ホルダ80を加熱するように構成される加熱装置44と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)