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1. (WO2016046985) 基板収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/046985    国際出願番号:    PCT/JP2014/075734
国際公開日: 31.03.2016 国際出願日: 26.09.2014
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
出願人: MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
発明者: KANAMORI, Yuta; (JP).
MATSUTORI, Chiaki; (JP).
TOMITA, Minoru; (JP)
代理人: SHOBAYASHI, Masayuki; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE STORING CONTAINER
(FR) CONTENANT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約: front page image
(EN)This substrate storing container is provided with a container main body, a cover body, and a side substrate supporting section (5). The side substrate supporting section (5) of the substrate storing container has: substrate contact sections (53, 54) that are in contact with a substrate when supporting an end portion of a substrate; and contact portion supporting sections (521, 523) that support the substrate contact sections (53, 54). The substrate contact sections (53, 54) are configured from a material, for instance, a PEEK material, which has heat resistance with respect to the temperature of the substrate in contact with the substrate contact sections (53, 54). The contact portion supporting sections (521, 523) are configured from a material, for instance, cycloolefin polymer, which has a heat resistance lower than that of the substrate contact sections (53, 54), and a moisture absorbing ratio lower than that of the substrate contact sections (53, 54).
(FR)L'invention concerne un contenant de stockage de substrat qui est pourvu d'un corps principal de contenant, d'un corps de couvercle, et d'une section de support de substrat latérale (5). La section de support de substrat latérale (5) du contenant de stockage de substrat comporte : des sections de contact de substrat (53, 54) qui sont en contact avec un substrat lorsqu'elles supportent une partie d'extrémité d'un substrat ; et des sections de support de partie de contact (521, 523) qui supportent les sections de contact de substrat (53, 54). Les sections de contact de substrat (53, 54) sont constituées d'un matériau, par exemple, un matériau de fibre de polyétheréthercétone (fibre PEEK), qui a une résistance à la chaleur par rapport à la température du substrat en contact avec les sections de contact de substrat (53, 54). Les sections de support de partie de contact (521, 523) sont constituées d'un matériau, par exemple, du polymère de cyclooléfine, qui a une résistance à la chaleur inférieure à celle des sections de contact de substrat (53, 54), et un rapport d'absorption d'humidité inférieur à celui des sections de contact de substrat (53, 54).
(JA)基板収納容器は、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部(5)と、を備える。基板収納容器の側方基板支持部(5)は、基板の縁部を支持しているときに基板に接触する基板接触部(53、54)と、基板接触部(53、54)を支持する接触部支持部(521、523)と、を有する。基板接触部(53、54)は、基板接触部(53、54)に接触する基板の温度に対する耐熱性を有する材料、例えばPEEK材等により構成される。接触部支持部(521、523)は、基板接触部(53、54)よりも耐熱性が低く、且つ、基板接触部(53、54)よりも吸湿率が低い材料、例えばシクロオレフィンポリマー等により構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)