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1. (WO2016046952) ウエハ搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/046952    国際出願番号:    PCT/JP2014/075600
国際公開日: 31.03.2016 国際出願日: 26.09.2014
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H05K 13/02 (2006.01)
出願人: FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 19, Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
発明者: IWASE Tomonori; (JP)
代理人: KOBAYASHI Osamu; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) WAFER TRANSFER APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ搬送装置
要約: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a wafer transfer apparatus that makes it possible to identify an identification code by means of an identifying apparatus in a state wherein a clamp unit is holding a wafer. This wafer transfer apparatus is provided with: a clamp unit that holds a peripheral end portion of a wafer; a drive apparatus that moves the clamp unit in the transfer direction of the wafer; and an identifying apparatus that identifies an identification code of the wafer by receiving reflected light that has been reflected by the identification code. The clamp unit of the wafer transfer apparatus is formed of a material that passes through the reflected light that has been reflected by the identification code, and makes it possible to identify the identification code by means of the identifying apparatus in a state wherein the wafer peripheral end portion, on which the identification code is marked, is being held.
(FR)L'objet de la présente invention est de pourvoir à un appareil de transfert de plaquette permettant l'identification d'un code d'identification au moyen d'un appareil d'identification dans un état dans lequel une unité de serrage maintient une plaquette. Ledit appareil de transfert de plaquette est pourvu : d'une unité de serrage qui maintient une partie d'extrémité périphérique d'une plaquette ; d'un appareil d'entraînement qui déplace l'unité de serrage dans la direction de transfert de la plaquette ; et d'un appareil d'identification qui identifie un code d'identification de la plaquette par réception de lumière réfléchie, laquelle est réfléchie par le code d'identification. L'unité de serrage de l'appareil de transfert de plaquette est constituée d'un matériau qui laisse passer la lumière réfléchie qui a été réfléchie par le code d'identification, et qui permet l'identification du code d'identification au moyen de l'appareil d'identification dans un état dans lequel est maintenue la partie d'extrémité périphérique de plaquette comportant le code d'identification.
(JA) クランプ部がウエハを把持した状態において、識別装置による識別コードの識別を可能とするウエハ搬送装置を提供することを目的とする。 ウエハ搬送装置は、ウエハの周縁部を把持するクランプ部と、クランプ部をウエハの搬送方向に移動させる駆動装置と、当該ウエハの識別コードで反射された反射光を受光することにより当該識別コードを識別する識別装置とを備える。ウエハ搬送装置のクランプ部は、識別コードで反射された反射光を透過する材料により形成され、ウエハのうち識別コードが付された周縁部を把持した状態で識別装置による識別コードの識別を可能とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)