WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016042806) 基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/042806    国際出願番号:    PCT/JP2015/057020
国際公開日: 24.03.2016 国際出願日: 10.03.2015
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
出願人: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Tenjinkita-machi, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585 (JP)
発明者: IWAO, Michinori; (JP)
代理人: INAOKA, Kosaku; (JP)
優先権情報:
2014-190106 18.09.2014 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置
要約: front page image
(EN) In the present invention, a substrate processing device includes: circulation piping for forming a circulation passage through which a chemical liquid in a chemical-liquid tank is caused to circulate; supply piping for leading the chemical liquid from the circulation piping to a chemical-liquid nozzle; a supply valve that can be switched between an open state in which the chemical liquid flowing through the supply piping toward the chemical-liquid nozzle is allowed to pass through, and a closed state in which supply of the chemical liquid from the supply piping to the chemical-liquid nozzle is stopped; recovery piping for leading the chemical liquid from a cup to the chemical-liquid tank; and branch piping for leading the chemical liquid in the circulation piping to the recovery piping.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de traitement de substrat qui comprend : une tuyauterie de circulation pour former un passage de circulation dans lequel un liquide chimique présent dans un réservoir de liquide chimique est fait circuler ; une tuyauterie d'alimentation pour amener le liquide chimique de la tuyauterie de circulation à une buse de liquide chimique ; une vanne d'alimentation qui peut être commutée entre un état ouvert dans lequel le liquide chimique circulant dans la tuyauterie d'alimentation vers la buse de liquide chimique peut passer à travers, et un état fermé dans lequel l'alimentation en liquide chimique de la tuyauterie d'alimentation à la buse de liquide chimique est arrêtée ; une tuyauterie de récupération pour amener le liquide chimique d'une coupe au réservoir de liquide chimique ; et une tuyauterie de branchement pour amener le liquide chimique présent dans la tuyauterie de circulation à la tuyauterie de récupération.
(JA) 基板処理装置は、薬液タンク内の薬液を循環させる循環経路を形成する循環配管と、循環配管から薬液ノズルに薬液を導く供給配管と、薬液ノズルに向かって供給配管内を流れる薬液を通過させる開状態と、供給配管から薬液ノズルへの薬液の供給を停止する閉状態と、に切替可能な供給バルブと、カップから薬液タンクに薬液に導く回収配管と、循環配管内の薬液を回収配管に導く分岐配管とを含む。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)