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1. (WO2016039261) 真空処理装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/039261    国際出願番号:    PCT/JP2015/075177
国際公開日: 17.03.2016 国際出願日: 04.09.2015
B65G 49/00 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
発明者: MASUYAMA, Junichi; (JP).
WAKITA, Shinichi; (JP).
UCHIYAMA, Toyoshi; (JP)
代理人: ISHIJIMA, Shigeo; (JP)
2014-187038 12.09.2014 JP
(JA) 真空処理装置
要約: front page image
(EN)Provided is a vacuum processing device which allows a carrier to be easily transported therein and thereout. While a guide portion (48) of a rail device (10) is held by a travel portion (32) of a carrier (30) placed on a transport vehicle (40), the transport vehicle (40) is moved. An elevatable portion (23) is lowered so that the carrier (30) is suspended from a chamber exterior portion (16) of the rail device (10). Then the transport vehicle (40) is backed away so that the elevatable portion (23) and undercarriage (22) are no longer directly below the carrier (30). With a connection portion (14) in a connected state, the carrier (30) is suspended from a chamber interior portion (15) connected to the chamber exterior portion (16) and moved to the inside of a vacuum chamber (8). The connection portion is brought into a separated state, and the vacuum chamber (8) is sealed by a lid device (9). It is thereby possible for the carrier (30) to be transported in and out using narrow space.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement sous vide qui permet à un chariot de levage d'être facilement transporté en son sein et d'en sortir. Tandis qu'une partie (48) de guidage d'un dispositif (10) de rail est maintenue par une partie (32) de déplacement d'un chariot (30) de levage placé sur un véhicule (40) de transport, le véhicule (40) de transport se déplace. Une partie (23) pouvant être levée est abaissée de sorte que le chariot (30) de levage soit suspendu à partir d'une partie extérieure (16) de chambre du dispositif (10) de rail. Ensuite, le véhicule (40) de transport est éloigné pour que la partie (23) pouvant être levée et un châssis (22) ne soient plus directement sous le chariot (30) de levage. À l'aide d'une partie (14) de liaison dans un état relié, le chariot (30) de levage est suspendu à partir d'une partie intérieure (15) de chambre reliée à la partie extérieure (16) de chambre et déplacée à l'intérieur d'une chambre (8) à vide. La partie de liaison est placée dans un état séparé et la chambre (8) à vide est rendue étanche par un dispositif (9) de couvercle. Il est ainsi possible de transporter le chariot (30) de levage à l'intérieur et à l'extérieur en faisant appel à un espace étroit.
(JA) 搭載装置の搬出入を簡単に行うことができる真空処理装置を提供する。 レール装置(10)の案内部(48)を、搭載車(40)に乗せた搭載装置(30)の走行部(32)によって挟み、搭載車(40)を移動させる。昇降部(23)を降下させ、搭載装置(30)をレール装置(10)の槽外部(16)に懸吊させ、搭載車(40)を後退させて搭載装置(30)の真下から、昇降部(23)及び車台(22)を抜去し、接続状態の接続部(14)によって、槽外部(16)に接続された槽内部(15)に懸吊させて、搭載装置(30)を真空槽(8)内部に異動させ、接続部を分離状態にして真空槽(8)を蓋装置(9)によって密閉する。狭い場所で、搭載装置(30)の搬出入を行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)