WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016038995) 研磨用組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/038995    国際出願番号:    PCT/JP2015/069198
国際公開日: 17.03.2016 国際出願日: 02.07.2015
IPC:
C09K 3/14 (2006.01), B24B 37/00 (2012.01), C09G 1/02 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
出願人: FUJIMI INCORPORATED [JP/JP]; 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502 (JP)
発明者: ONISHI, Shogo; (JP).
UMEDA, Takahiro; (JP)
代理人: HATTA & ASSOCIATES; Dia Palace Nibancho, 11-9, Nibancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020084 (JP)
優先権情報:
2014-182583 08.09.2014 JP
発明の名称: (EN) POLISHING COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE POLISSAGE
(JA) 研磨用組成物
要約: front page image
(EN)The present invention provides a polishing composition which can achieve a high polishing rate against a copper-containing layer and can simultaneously prevent the dissolution of a cobalt-containing layer during the polishing of an object of interest which has both the copper-containing layer and the cobalt-containing layer. The present invention is a polishing composition which can be used for polishing an object of interest having both a copper-containing layer and a cobalt-containing layer, said polishing composition comprising an oxidizing agent and at least one cobalt dissolution inhibitor selected from the group consisting of a compound having a nitrogenated 5-membered ring structure and an aminocarboxylic acid having at least two carboxyl groups.
(FR)La présente invention concerne une composition de polissage qui permet d'obtenir une vitesse de polissage élevée contre une couche contenant du cuivre et qui peut simultanément empêcher la dissolution d'une couche contenant du cobalt lors du polissage d'un objet d'intérêt qui présente à la fois la couche contenant du cuivre et la couche contenant du cobalt. La présente invention est une composition de polissage qui peut être utilisée pour polir un objet d'intérêt ayant à la fois une couche contenant du cuivre et une couche contenant du cobalt, ladite composition de polissage comprenant un agent oxydant et au moins un inhibiteur de dissolution du cobalt choisi dans le groupe constitué d'un composé ayant une structure cyclique azotée à 5 chaînons et un acide aminocarboxylique ayant au moins deux groupes carboxyle.
(JA) 本発明は、銅を含む層とコバルトを含む層とを有する研磨対象物を研磨する際、銅を含む層に対する高い研磨速度を発現させつつコバルトを含む層の溶解を抑制することができる研磨用組成物を提供する。 本発明は、銅を含む層とコバルトを含む層とを有する研磨対象物を研磨する用途で用いられる研磨用組成物であって、酸化剤と、含窒素5員環構造を有する化合物、およびカルボキシル基を2つ以上有するアミノカルボン酸からなる群より選択される少なくとも1種のコバルト溶解抑制剤と、を含有する、研磨用組成物である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)