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1. (WO2016038982) 欠陥定量化方法、欠陥定量化装置、および欠陥評価値表示装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/038982    国際出願番号:    PCT/JP2015/068447
国際公開日: 17.03.2016 国際出願日: 26.06.2015
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
発明者: MINEKAWA Yohei; (JP).
TAKAGI Yuji; (JP).
HIRAI Takehiro; (JP)
代理人: TODA Yuji; (JP)
優先権情報:
2014-181863 08.09.2014 JP
発明の名称: (EN) DEFECT QUANTIFICATION METHOD, DEFECT QUANTIFICATION DEVICE, AND DEFECT EVALUATION VALUE DISPLAY DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE QUANTIFICATION DE DÉFAUTS, DISPOSITIF DE QUANTIFICATION DE DÉFAUTS, ET DISPOSITIF D'AFFICHAGE DE LA VALEUR D'ÉVALUATION DES DÉFAUTS
(JA) 欠陥定量化方法、欠陥定量化装置、および欠陥評価値表示装置
要約: front page image
(EN)To quantify the degree of a defect, and provide information useful for yield management. Disclosed is a defect quantification method wherein: a defect image is classified; a measurement region and a measurement area are set to each of the defect image and a reference image on the basis of defect image classification results, said reference image corresponding to the defect image; and an evaluation value of a defect is calculated using each of the measurement values obtained from each of the measurement areas of the defect image and the reference image, and the defect is quantified.
(FR)L'invention a pour objet de quantifier le degré d'un défaut, et de fournir des informations utiles pour la gestion des capacités. L'invention concerne un procédé de quantification des défauts dans lequel : une image de défaut est classifiée; une région de mesure et une zone de mesure sont établies pour chacune de l'image de défaut et d'une image de référence en fonction des résultats de la classification d'image de défaut, ladite image de référence correspondant à l'image de défaut; et une valeur d'évaluation d'un défaut est calculée à l'aide de chacune des valeurs de mesure obtenues à partir de chacune des zones de mesure de l'image de défaut et de l'image de référence, et le défaut est quantifié.
(JA)欠陥の程度を定量化し、歩留まり管理に有用な情報を提供する。 欠陥画像を分類し、欠陥画像分類結果に基づいて、欠陥画像と、欠陥画像に対応する参照画像それぞれに計測領域と計測箇所を設定し、欠陥画像と参照画像の計測箇所から得た各々の計測値を用いて欠陥の評価値を算出し欠陥を定量化する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)