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1. (WO2016038703) 外観検査装置および基板検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/038703    国際出願番号:    PCT/JP2014/073933
国際公開日: 17.03.2016 国際出願日: 10.09.2014
IPC:
G01N 21/88 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
出願人: YAMAHA HATSUDOKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2500, Shingai, Iwata-shi, Shizuoka 4388501 (JP)
発明者: TABATA, Nobuaki; (JP)
代理人: FURIKADO, Shoichi; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) EXTERNAL APPEARANCE INSPECTION DEVICE AND SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION D'APPARENCE EXTÉRIEURE ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRATS
(JA) 外観検査装置および基板検査装置
要約: front page image
(EN)In the progression path P of light that is specularly reflected by a substrate 10 toward a tilted camera 32 after being emitted from an illumination unit 35, an incidence side polarization plate 37 is disposed on the incidence side of the substrate 10, and a reflection side polarization plate 38 is disposed on the reflection side of the substrate 10. The incidence side polarization plate 37 and reflection side polarization plate 38 each selectively transmit one type of polarized component from among two types of polarized components and selectively transmit respectively different polarized components. The specularly reflected light that has been specularly reflected by the substrate 10 becomes light of a polarized component (S polarized component) that is the same as that of the incident light and proceeds along the progression path P toward the tilted camera 32. However because the reflection side polarization plate 38 is provided, the specularly reflected light is blocked by the reflection side polarization plate 38 and cannot reach the tilted camera 32. As a result, it is possible to appropriately image the substrate 10 using the tilted camera 32 while preventing light that has been specularly reflected by the substrate from reaching the tilted camera 32 and suppressing the appearance of an illumination unit 35 image.
(FR)L'invention est caractérisé en ce que, sur le trajet de propagation P d'une lumière qui est réfléchie de manière spéculaire par un substrat 10 en direction d'une caméra inclinée 32 après avoir été émise à partir d'une unité 35 d'éclairage, une plaque 37 de polarisation côté incidence est disposée du côté incidence du substrat 10, et une plaque 38 de polarisation côté réflexion est disposée du côté réflexion du substrat 10. La plaque 37 de polarisation côté incidence et plaque 38 de polarisation côté réflexion transmettent chacune sélectivement un seul type de composante polarisée parmi deux types de composantes polarisées et transmettent sélectivement des composantes polarisées respectivement différentes. La lumière réfléchie de manière spéculaire qui a été réfléchie de manière spéculaire par le substrat 10 devient une lumière d'une composante polarisée (composante polarisée S) qui est la même que celle de la lumière incidente et progresse le long du trajet de propagation P vers la caméra inclinée 32. Toutefois, comme la plaque 38 de polarisation côté réflexion est mise en place, la lumière réfléchie de manière spéculaire est arrêtée par la plaque 38 de polarisation côté réflexion et ne peut pas atteindre la caméra inclinée 32. De ce fait, il est possible to capturer de manière appropriée une image du substrat 10 à l'aide de la caméra inclinée 32 tout en empêchant une lumière qui a été réfléchie de manière spéculaire par le substrat d'atteindre la caméra inclinée 32 et en s'opposant à l'apparition d'une image de l'unité 35 d'éclairage.
(JA) 照明部35から射出された後に基板10で正反射されて傾斜カメラ32へ向かう光の進行経路Pにおいて、基板10の入射側に入射側偏光板37が配されるとともに、基板10の反射側に反射側偏光板38が配される。入射側偏光板37および反射側偏光板38はそれぞれ、2種類の偏光成分のうち1種類を選択的に通過させるものであるとともに、互いに異なる偏光成分を選択的に通過させる。基板10で正反射された正反射光は、入射光と同じ偏光成分(S偏光成分)の光となって進行経路Pを傾斜カメラ32に向かって進む。ただし、反射側偏光板38が設けられているため、正反射光は反射側偏光板38により遮断されて傾斜カメラ32に到達できない。その結果、基板10での正反射光が傾斜カメラ32に到達するのを遮って照明部35の像の写り込みを抑制しつつ傾斜カメラ32により基板10を適切に撮像することが可能となっている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)