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1. (WO2016035837) 搬送装置及び真空装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/035837    国際出願番号:    PCT/JP2015/075013
国際公開日: 10.03.2016 国際出願日: 02.09.2015
IPC:
B25J 9/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
発明者: YOSHINO, Takahiro; (JP)
代理人: ABE, Hideki; (JP)
優先権情報:
2014-178675 03.09.2014 JP
発明の名称: (EN) CONVEYANCE UNIT AND VACUUM DEVICE
(FR) UNITÉ DE TRANSPORT ET DISPOSITIF À VIDE
(JA) 搬送装置及び真空装置
要約: front page image
(EN)The present invention provides a technique for facilitating positioning work in a conveyance unit capable of simultaneously conveying a pair of conveyed objects and of improving throughput during substrate conveyance. The present invention is provided with: first and second expansion and contraction driving shafts (11, 12) disposed concentrically centered on a rotation shaft and provided so that each is able to rotate independently in a horizontal plane; and first and second turn driving shafts (15, 16). First and second conveyance mechanisms are disposed on two sides of the conveyed object conveyance direction with the rotation shaft therebetween and are driven to expand and contract by the first and second expansion and contraction driving shafts (11, 12) and convey the conveyed objects along the conveyed object conveyance direction. The first and second conveyance mechanisms are configured so that each is finely turned by first and second turn driving members (31, 32Z) centered on the rotation shaft.
(FR)La présente invention concerne une technique destinée à faciliter le travail de positionnement dans une unité de transport apte à transporter simultanément une paire d'objets transportés et d'améliorer le débit lors du transport de substrat. La présente invention est pourvue de : premier et second arbres d'entraînement de dilatation et de contraction (11, 12) disposés de façon concentrique centrés sur un arbre de rotation et prévus de telle sorte que chacun d'eux est apte à tourner indépendamment dans un plan horizontal ; et des premier et second arbres d'entraînement de spire (15, 16). Des premier et second mécanismes de transport sont disposés sur deux côtés de la direction de transport d'objet transporté avec l'arbre de rotation entre eux et sont entraînés à se dilater et à se contracter par les premier et second arbres d'entraînement de dilatation et de contraction (11, 12) et transportent les objets transportés le long de la direction de transport d'objet transporté. Les premier et second mécanismes de transport sont conçus de sorte que chacun est finement tourné par des premier et second éléments d'entraînement de spire (31, 32Z) centrés sur l'arbre de rotation.
(JA) 本発明は、一対の搬送物を同時に搬送可能な搬送装置において、位置決め作業を容易にするとともに、基板搬送の際のスループットを向上させる技術を提供するものである。本発明は、回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた、第1及び第2の伸縮駆動軸(11)、(12)と、第1及び第2の旋回駆動軸(15)、(16)とを備える。第1及び第2の搬送機構は、回転軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に配置され、第1及び第2の伸縮駆動軸(11)、(12)によって駆動されて伸縮し、搬送物搬送方向に沿って搬送物を搬送する。第1及び第2の搬送機構は、第1及び第2の旋回駆動部材(31)、(32Z)によって回転軸を中心としてそれぞれ微小旋回するように構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)