WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016035673) 終点検出方法、研磨装置、及び研磨方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/035673    国際出願番号:    PCT/JP2015/074254
国際公開日: 10.03.2016 国際出願日: 27.08.2015
IPC:
B24B 37/013 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
出願人: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP)
発明者: TAKAHASHI, Taro; (JP).
SUZUKI, Yuta; (JP)
代理人: ONO, Shinjiro; (JP)
優先権情報:
2014-177742 02.09.2014 JP
2015-099643 15.05.2015 JP
発明の名称: (EN) END POINT DETECTION METHOD, POLISHING DEVICE, AND POLISHING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE POINT D'EXTRÉMITÉ, DISPOSITIF DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
(JA) 終点検出方法、研磨装置、及び研磨方法
要約: front page image
(EN)To improve accuracy of polishing end point detection. Disclosed is an end point detection method whereby an end point is detected on the basis of a drive current to be supplied to a drive unit (a first electric motor or a second electric motor) for rotationally driving a polishing table for holding a polishing pad, or a holding unit (top ring) for holding a subject to be polished and pressing the subject to the polishing pad. The end point detection method is provided with: a step (S102) for determining whether the polishing conditions of a polishing process to be executed match previously set specific polishing conditions; a step (S103) for adjusting current control parameters relating to a drive current change with respect to a drive load change of the drive unit in a drive control unit (motor driver) for controlling the drive current, in the cases where it is determined that the polishing conditions match the specific polishing conditions; and a step (S105) for detecting, on the basis of the current control parameters thus adjusted, the drive current to be supplied to the drive unit, and detecting the end point of polishing on the basis of the drive current thus detected.
(FR)L'objectif de la présente invention est d'améliorer la précision de la détection du point d'extrémité de polissage. La présente invention concerne un procédé de détection de point d'extrémité permettant à un point d'extrémité d'être détecté en fonction d'un courant courant d'attaque devant être fourni à une unité d'entraînement (un premier moteur électrique ou un second moteur électrique) pour entraîner en rotation une table de polissage destinée à supporter un tampon à polir, ou une unité de retenue (anneau supérieur) destinée à retenir un objet à polir et à comprimer l'objet sur le tampon à polir. Le procédé de détection de point d'extrémité comprend : une étape (S102) permettant de déterminer si les conditions de polissage d'un procédé de polissage destiné à être exécuté correspondent aux conditions de polissage spécifiques préalablement établies ; une étape (S103) permettant d'ajuster des paramètres de commande de courant se rapportant à un changement de courant d'entraînement par rapport à un changement de charge d'entraînement de l'unité d'entraînement dans une unité de commande d'entraînement (dispositif d'entraînement de moteur) pour commander le courant d'attaque, dans les cas où il est déterminé que les conditions de polissage correspondent aux conditions spécifiques du polissage ; et une étape (S105) permettant de détecter, en fonction des paramètres de commande de courant ainsi ajustés, le courant d'attaque destiné à être fourni à l'unité d'entraînement, et de détecter le point d'extrémité de polissage en fonction du courant d'attaque ainsi détecté.
(JA) 研磨終点検出の精度を向上させる。 終点検出方法は、研磨パッドを保持するための研磨テーブル、又は、研磨対象物を保持して研磨パッドへ押圧するための保持部(トップリング)、を回転駆動するための駆動部(第1の電動モータ又は第2の電動モータ)へ供給する駆動電流に基づいて終点を検出する。終点検出方法は、実行する研磨プロセスの研磨条件があらかじめ設定された特定の研磨条件と一致するか否かを判定するステップ(S102)と、研磨条件が特定の研磨条件と一致すると判定された場合に、駆動電流を制御するための駆動制御部(モータドライバ)における、駆動部の駆動負荷の変化に対する駆動電流の変化に関する電流制御パラメータを調整するステップ(S103)と、調整された電流制御パラメータに基づいて駆動部へ供給される駆動電流を検出し、検出した駆動電流に基づいて研磨の終点を検出するステップ(S105)と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)