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1. (WO2016035558) 質量流量制御装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/035558    国際出願番号:    PCT/JP2015/073323
国際公開日: 10.03.2016 国際出願日: 20.08.2015
IPC:
G05D 7/06 (2006.01)
出願人: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224 (JP)
発明者: HIROTA Tomokazu; (JP).
ITO Hiroyuki; (JP)
代理人: PROSPEC PATENT FIRM; 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801 (JP)
優先権情報:
2014-177063 01.09.2014 JP
発明の名称: (EN) MASS FLOW CONTROLLER
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT MASSIQUE
(JA) 質量流量制御装置
要約: front page image
(EN)A mass flow controller (1) is configured from a flow meter (2), a mechanical pressure control valve (3) which is positioned upstream of and adjacent to the flow meter, and a flow control valve (4) which is positioned downstream of the flow meter. Thus, provided is a mass flow controller which is capable of, even if pressure (P1) upstream of the flow meter fluctuates, instantly recovering the pressure to original pressure and thereby improving precision in flow measurement which the flow meter performs. It would be preferable for the mechanical pressure control valve (3) to be embedded in a base part (7) of the mass flow controller (1). It would be additionally preferable for the mass flow controller (1) to further comprise a forced open valve mechanism (10) which forcibly opens the mechanical pressure control valve (3).
(FR)L'invention porte sur un dispositif de commande de débit massique (1) qui est formé d'un débitmètre (2), d'une vanne de commande de pression mécanique (3) qui est positionnée en amont de et adjacente au débitmètre, et une vanne de commande de débit (4) qui est positionnée en aval du débitmètre. Ainsi, il est fourni un dispositif de commande de débit massique qui est capable, même si la pression (P1) en amont du débitmètre fluctue, de récupérer de manière instantanée la pression à une pression d'origine et ainsi d'améliorer la précision de mesure de débit que le débitmètre réalise. Il serait préférable pour la vanne de commande de pression mécanique (3) d'être intégrée dans une partie de base (7) du dispositif de commande de débit massique (1). Il serait en outre préférable pour le dispositif de commande de débit massique (1) de comprendre en outre un mécanisme de vanne à ouverture forcée (10) qui ouvre de manière forcée la vanne de commande de pression mécanique (3).
(JA) 質量流量制御装置(1)を、流量計(2)と、流量計の上流側に隣接して配置される機械式調圧弁(3)と、流量計の下流側に配置される流量制御弁(4)と、によって構成する。これにより、流量計の上流側の圧力P1が変動した場合であっても、これを元の圧力に瞬時に回復させることができ、もって流量計が測定する流量の測定精度を高めることができる質量流量制御装置を提供する。機械式調圧弁(3)は、質量流量制御装置(1)の基部(7)の中に埋設することが好ましい。質量流量制御装置(1)は、機械式調圧弁(3)を強制的に開弁させる強制開弁機構(10)を更に備えることがより好ましい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)