WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2016035480) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/035480    国際出願番号:    PCT/JP2015/071408
国際公開日: 10.03.2016 国際出願日: 28.07.2015
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01)
出願人: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585 (JP)
発明者: HONSHO Kazuhiro; (JP).
TAKAHASHI Mitsukazu; (JP).
HATANO Akito; (JP).
HASHIMOTO Koji; (JP)
代理人: SUGITANI Tsutomu; (JP)
優先権情報:
2014-181104 05.09.2014 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOUSING CONTAINER, LOAD PORT DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) CONTENANT DE LOGEMENT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'ORIFICE DE CHARGE, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
要約: front page image
(EN)A substrate housing container 1 is provided with a casing 2, shelf members 11, casing supportive members 23, a casing elevating mechanism 31, a lid 3, and lid supportive members 16. When support for substrates W by the shelf members 11 transitions to support for the substrates W by the casing supportive members 16 and the lid supportive members 23, the casing elevating mechanism 31 causes the casing supportive members 16 to move upward, and the casing supportive members 16 lift the substrates W up. When the support for the substrates W by the casing supportive members 16 and the lid supportive members 23 transitions to the support for the substrates W by the shelf members 11, the casing elevating mechanism 31 causes the casing supportive members 16 to move downward, and thus the casing supportive members 16 lower the substrates W.
(FR)L'invention concerne un contenant de logement de substrat 1 comportant un boîtier 2, des éléments d'étagère 11, des éléments de support de boîtier 23, un mécanisme d'élévation de boîtier 31, un couvercle 3, et des éléments de support de couvercle 16. Quand le support pour substrats W par les éléments d'étagère 11 se déplace de manière transitionnelle à des fins de support pour les substrats W par les éléments de support de boîtier 16 et les éléments de support de couvercle 23, le mécanisme d'élévation de boîtier 31 force les éléments de support de boîtier 16 à se déplacer vers le haut, et les éléments de support de boîtier 16 soulèvent les substrats W vers le haut. Quand le support pour les substrats W par les éléments de support de boîtier 16 et les éléments de support de couvercle 23 se déplace de manière transitionnelle à des fins de support pour les substrats W par les éléments d'étagère 11, le mécanisme d'élévation de boîtier 31 force le éléments de support de boîtier 16 à se déplacer vers le bas, et ainsi les éléments de support de boîtier 16 abaissent les substrats W.
(JA) 基板収納容器1であって、筐体2と、棚部材11と、筐体用支持部材16と、筐体用昇降機構31と、蓋3と、蓋用支持部材16と、を備える。棚部材11による基板Wの支持から筐体用支持部材16と蓋用支持部材23とによる基板Wの支持に移行するとき、筐体用昇降機構31が筐体用支持部材16を上昇させることによって、筐体用支持部材16は基板Wを持ち上げる。筐体用支持部材16と蓋用支持部材23とによる基板Wの支持から棚部材11による基板Wの支持に移行するとき、筐体用昇降機構31が筐体用支持部材16を下降させることによって、筐体用支持部材16は基板Wを下ろす。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)