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1. (WO2016035148) 測定処理装置、X線検査装置、構造物の製造方法、測定処理方法、X線検査方法、測定処理プログラムおよびX線検査プログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/035148    国際出願番号:    PCT/JP2014/073097
国際公開日: 10.03.2016 国際出願日: 02.09.2014
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
発明者: MACHII, Nobukatsu; (JP).
HAYANO, Fuminori; (JP).
KAWAI, Akitoshi; (JP)
代理人: NAGAI, Fuyuki; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) MEASUREMENT PROCESSING DEVICE, X-RAY INSPECTION APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE, MEASUREMENT PROCESSING METHOD, X-RAY INSPECTION METHOD, MEASUREMENT PROCESSING PROGRAM, AND X-RAY INSPECTION PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE MESURE, APPAREIL D'INSPECTION PAR RAYONS X, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE MESURE, PROCÉDÉ D'INSPECTION PAR RAYONS X, PROGRAMME DE TRAITEMENT DE MESURE, ET PROGRAMME D'INSPECTION PAR RAYONS X
(JA) 測定処理装置、X線検査装置、構造物の製造方法、測定処理方法、X線検査方法、測定処理プログラムおよびX線検査プログラム
要約: front page image
(EN)A measurement processing device used for an X-ray inspection apparatus that detects an X-ray passing through a predetermined region of a specimen placed on a placement unit to inspect the shape of the predetermined region of the specimen is provided with: a setting unit for setting a three-dimensional region to be detected on the specimen; and a sliced-region selection unit for setting a plurality of sliced regions on the region to be detected, computing the amount of displacement of the predetermined region, encompassing the plurality of sliced regions, that is required to detect the region to be detected for each of the plurality of sliced regions, and selecting a sliced region employed for an inspection from among the plurality of sliced regions on the basis of each of the calculated amounts of displacement.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement de mesure utilisé pour un appareil d'inspection par rayons X qui détecte un rayon X passant à travers une région prédéterminée d'un spécimen placé sur une unité de placement pour inspecter la forme de la zone prédéterminée du spécimen qui comporte : une unité de réglage pour régler une région tridimensionnelle à détecter sur le spécimen ; et une unité de sélection de région en tranches pour régler une pluralité de régions en tranches sur la région devant être détectée, calculer la quantité de déplacement de la région prédéterminée, englobant la pluralité de régions en tranches, qui est nécessaire pour détecter la région devant être détectée pour chacune de la pluralité de régions en tranches, et sélectionner une région en tranches utilisée pour une inspection parmi la pluralité de régions en tranches sur la base de chacune des quantités de déplacement calculées.
(JA) 載置部に載置される被検物の所定領域を透過するX線を検出して、被検物の所定領域形状を検査するX線検査装置に用いる測定処理装置は、被検物について、三次元状の被検出領域を設定する設定部と、被検出領域に複数のスライス領域を設定し、複数のスライス領域を所定領域としたときに被検出領域を検出するのに必要な所定領域の変位量を、複数のスライス領域の各々に対して算出し、算出された各々の変位量に基づいて、複数のスライス領域から、検査に用いるスライス領域を選定するスライス領域選定部と、を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)