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1. (WO2016031434) 表面検査装置、表面検査方法およびプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2016/031434    国際出願番号:    PCT/JP2015/070690
国際公開日: 03.03.2016 国際出願日: 21.07.2015
IPC:
G01N 21/95 (2006.01)
出願人: KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 2-7-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP)
発明者: KOMATSU Takafumi; (JP).
ABE Yoshihisa; (JP).
YAMAGUCHI Wataru; (JP).
TAKEBE Yosuke; (JP)
代理人: YOSHITAKE Hidetoshi; (JP)
優先権情報:
2014-175407 29.08.2014 JP
発明の名称: (EN) SURFACE INSPECTION DEVICE, SURFACE INSPECTION METHOD AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE, PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE ET PROGRAMME
(JA) 表面検査装置、表面検査方法およびプログラム
要約: front page image
(EN)In order to determine white blurring objectively and without irregularity, this surface inspection device is provided with an opening, multiple measurement units, an acquisition unit, and a calculation unit. The opening defines an aperture plane used for measurement purposes. The multiple measurement units each has a light emitting unit and a light receiving unit, and, seen in a perspective planar view from the imaginary normal line of the aperture plane, are arranged in mutually different directions with respect to the opening. For each measurement unit, the acquisition unit acquires a detection value relating to brightness, corresponding to the light received through the aperture plane by the light receiving unit after being emitted from a sample surface in response to being irradiated by light from the light emitting unit through the aperture plane. The calculation unit calculates an evaluation value relating to the degree of variation of the multiple detection values obtained by the acquisition unit for each of the measurement units. Further, a first angle formed between the first optical path of light travelling from the light emitting unit towards the aperture plane and the normal line of said aperture plane, a second angle formed between said normal line and a second optical path of light travelling from the aperture plane towards the light receiving unit, and a third angle formed between the first optical path and the second optical path are the same in each of the multiple measurement units.
(FR)La présente invention concerne, afin de déterminer un flou blanc de manière objective et sans irrégularité, un dispositif d'inspection de surface pourvu d'un orifice, de multiples unités de mesure, d'une unité d'acquisition et d'une unité de calcul. L'orifice définit un plan d'ouverture utilisé à des fins de mesure. Les multiples unités de mesure présentent chacune une unité d'émission de lumière et une unité de réception de lumière et, observées dans une vue en plan en perspective à partir de la ligne normale imaginaire du plan d'ouverture, elles sont agencées dans des directions différentes entre elles par rapport à l'orifice. Pour chaque unité de mesure, l'unité d'acquisition acquiert une valeur de détection se rapportant à la luminosité, correspondant à la lumière reçue par l'intermédiaire du plan d'ouverture par l'unité de réception de lumière après avoir été émise à partir d'une surface d'échantillon en réponse à une exposition à une lumière provenant de l'unité d'émission de lumière par l'intermédiaire du plan d'ouverture. L'unité de calcul calcule une valeur d'évaluation se rapportant au degré de variation des multiples valeurs de détection obtenues par l'unité d'acquisition pour chacune des unités de mesure. En outre, un premier angle formé entre le premier chemin optique de la lumière se déplaçant depuis l'unité d'émission de lumière vers le plan d'ouverture et la ligne normale dudit plan d'ouverture, un deuxième angle formé entre ladite ligne normale et un second chemin optique de la lumière se déplaçant depuis le plan d'ouverture vers l'unité de réception de lumière, ainsi qu'un troisième angle formé entre le premier chemin optique et le second chemin optique sont identiques dans chacune des multiples unités de mesure.
(JA) 白ボケを客観的にばらつきなく判定するために、表面検査装置は、開口部、複数の測定用ユニット、取得部および演算部を備える。開口部は、測定用の開口面を規定する。複数の測定ユニットは、発光部と受光部を各々有し、開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に開口面に対して相互に異なる方向に配置される。取得部は、測定用ユニット毎に、発光部から開口面を介した光の照射に応じて試料表面から発せられて開口面を介して受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。演算部は、取得部によって複数の測定用ユニットについて各々取得された複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。そして、発光部から開口面に向かう光の第1光路が該開口面の法線と成す第1角度、開口面から受光部に向かう光の第2の光路が法線と成す第2角度、および第1光路と第2光路とが成す第3角度が、複数の測定用ユニットの間において各々等しい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)