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1. WO2016027495 - 圧電センサ及び検出装置

公開番号 WO/2016/027495
公開日 25.02.2016
国際出願番号 PCT/JP2015/059927
国際出願日 30.03.2015
IPC
G01B 7/16 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
7電気的または磁気的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
16固体の変形測定用,例.抵抗ひずみ計によるもの
H01L 41/047 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
047電極
H01L 41/053 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
053取付具,支持具,囲いまたはケーシング
H01L 41/113 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
CPC
G01B 7/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
16for measuring deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
G01B 7/22
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
16for measuring deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
22using change in capacitance
G01L 1/162
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
16using properties of piezo-electric devices
162using piezo-electric resonators
H01L 41/042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
042Drive or control circuitry or methods for piezo-electric or electrostrictive devices not otherwise provided for
H01L 41/047
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
H01L 41/0533
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
053Mounts, supports, enclosures or casings
0533Further insulation means against electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 源明 裕也 GENMEI, Yuya
  • 井上 二郎 INOUE, Jiro
  • 市丸 正幸 ICHIMARU, Masayuki
代理人
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
優先権情報
2014-16923822.08.2014JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC SENSOR AND DETECTION DEVICE
(FR) CAPTEUR PIÉZOÉLECTRIQUE ET DISPOSITIF DE DÉTECTION
(JA) 圧電センサ及び検出装置
要約
(EN)
Provided is a piezoelectric sensor capable of detecting deformation of a subject to be inspected, said deformation being detected on the basis of an electric output corresponding to shear stress applied to a piezoelectric body. A piezoelectric sensor 1 detects deformation of a subject to be inspected by being fixed to the subject, said piezoelectric sensor being provided with: a piezoelectric body 2, which has first and second main surfaces 1a and 1b, and the longitudinal direction, and in which a polarization axis is in the direction X1 that is parallel to the longitudinal direction; and first and second detection electrodes 4a and 4b, which are formed on the surface of the piezoelectric body 2, and which extend in the direction parallel to the longitudinal direction. Deformation of the subject is detected on the basis of an electric output corresponding to shear stress applied to the piezoelectric body 2.
(FR)
L'invention concerne un capteur piézoélectrique pouvant détecter une déformation d'un sujet à inspecter, ladite déformation étant détectée sur la base d'une sortie électrique correspondant à une contrainte de cisaillement appliquée à un corps piézoélectrique. Un capteur piézoélectrique (1) détecte la déformation d'un sujet à inspecter en étant fixé sur le sujet, ledit capteur piézoélectrique comprenant : un corps piézoélectrique (2), comprenant des première et seconde surfaces principales (1a) et (1b), et la direction longitudinale, et dans lequel un axe de polarisation se trouve dans la direction X1 qui est parallèle à la direction longitudinale ; et des première et seconde électrodes de détection (4a) et (4b), qui sont formées sur la surface du corps piézoélectrique (2) et qui s'étendent dans la direction parallèle à la direction longitudinale. La déformation du sujet est détectée sur la base d'une sortie électrique correspondant à une contrainte de cisaillement appliquée sur le corps piézoélectrique (2).
(JA)
 圧電体へのせん断応力に対応した電気出力に基づき検査対象の変形を検出し得る、圧電センサを提供する。 圧電センサ1は、検出対象に固定されて上記検出対象の変形を検出する圧電センサであって、第1,第2の主面1a,1b及び長さ方向を有し、分極軸が長さ方向に平行な方向X1である圧電体2と、圧電体2の表面に形成されており、長さ方向に平行な方向に延びる第1,第2の検出用電極4a,4bとを備える。圧電体2のせん断応力に対応した電気出力に基づき上記検出対象の変形を検出する。
関連公開情報:
国際事務局に記録されている最新の書誌情報