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1. WO2016021348 - 平坦化膜用又はマイクロレンズ用樹脂組成物

公開番号 WO/2016/021348
公開日 11.02.2016
国際出願番号 PCT/JP2015/069291
国際出願日 03.07.2015
IPC
H01L 21/312 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
312有機物層,例.フォトレジスト
C08F 212/06 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
F炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物
212ただ1つの炭素―炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,その少なくとも1つが芳香族炭素環によって停止されている化合物の共重合体
021個の不飽和脂肪族基をもつ単量体
041個の環を含有するもの
06炭化水素
C08F 220/28 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
F炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物
220ただ1つの炭素―炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,そのうちのただ1つの脂肪族基がただ1つのカルボキシル基によって停止されている化合物.その塩,無水物,エステル,アミド,イミドまたはそのニトリルの共重合体
029個以下の炭素原子をもつモノカルボン酸;その誘導体
10エステル
26カルボキシ酸素以外の酸素を含有するエステル
28アルコール残基中に芳香族環をもたないもの
C08L 25/08 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
L高分子化合物の組成物
25ただ1つの炭素―炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,その少くとも1つが芳香族炭素環によって停止されている化合物の単独重合体または共重合体の組成物;そのような重合体の誘導体の組成物
02炭化水素の単独重合体または共重合体
04スチレンの単独重合体または共重合体
08スチレンの共重合体
C08L 33/14 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
L高分子化合物の組成物
33ただ1つの炭素―炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,そのうちのただ1つの脂肪族基がただ1つのカルボキシル基によって停止されている化合物,またはその塩,無水物,エステル,アミド,イミドまたはそのニトリルの単独重合体または共重合体の組成物;そのような重合体の誘導体の組成物
04エステルの単独重合体または共重合体
14ハロゲン,窒素,いおうまたはカルボキシル基の酸素以外の酸素原子を含有するエステルの
G02B 1/04 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
1使用物質によって特徴づけられた光学要素;光学要素のための光学的コーティング
04有機物質,例.合成樹脂,で作られたもの
CPC
C08F 12/24
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
12Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
02Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
04containing one ring
14substituted by hetero atoms or groups containing heteroatoms
22Oxygen
24Phenols or alcohols
C08F 212/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
212Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
02Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
04containing one ring
06Hydrocarbons
08Styrene
C08F 212/14
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
212Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
02Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
04containing one ring
14substituted by heteroatoms or groups containing heteroatoms
C08F 212/24
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
212Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
02Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
04containing one ring
14substituted by heteroatoms or groups containing heteroatoms
22Oxygen
24Phenols or alcohols
C08F 220/32
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
220Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
10Esters
26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
32containing epoxy radicals
C08F 220/325
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
220Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
10Esters
26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
32containing epoxy radicals
325containing glycidyl radical, e.g. glycidyl (meth)acrylate
出願人
  • 日産化学工業株式会社 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 安達 勲 ADACHI, Isao
  • 坂口 崇洋 SAKAGUCHI, Takahiro
代理人
  • 特許業務法人はなぶさ特許商標事務所 HANABUSA PATENT & TRADEMARK OFFICE
優先権情報
2014-16236808.08.2014JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) RESIN COMPOSITION FOR FLATTENED FILM OR MICROLENS
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE POUR FILM APLATI OU MICROLENTILLE APLATIE
(JA) 平坦化膜用又はマイクロレンズ用樹脂組成物
要約
(EN)
[Problem] To provide a thermosetting resin composition for a flattened film or microlens. [Solution] A resin composition for a flattened film or microlens, the resin composition containing a solvent and a copolymer having the structural unit expressed in formula (1) and the structural unit expressed in formula (2). (In the formulae: each R0 independently represents a hydrogen atom or a methyl group; R1 represents a single bond or a C1-5 alkylene group, the alkylene group optionally having an ether bond on the main chain; and R2 represents an epoxy group or a C5-12 organic group having an epoxy ring.)
(FR)
La présente invention vise à pourvoir à une composition de résine thermodurcissable pour un film aplati ou une microlentille aplatie. A cet effet, il est prévu une composition de résine pour film aplati ou microlentille aplatie, la composition de résine contenant un solvant et un copolymère comprenant l'unité structurale exprimée par la formule (1) et l'unité structurale exprimée par la formule (2). (Dans les formules : chaque R0 représente indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; R1 représente une simple liaison ou un groupe alkylène en C1-5, le groupe alkylène possédant éventuellement une liaison éther sur la chaîne principale ; et R2 représente un groupe époxy ou un groupe organique en C5-12 contenant un cycle époxy.)
(JA)
【課題】 熱硬化性の平坦化膜用又はマイクロレンズ用樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】 下記式(1)で表される構造単位および式(2)で表される構造単位を有する共重合体及び溶剤を含有する平坦化膜用又はマイクロレンズ用樹脂組成物。(式中、Rはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Rは単結合又は炭素原子数1乃至5のアルキレン基を表し、当該アルキレン基はその主鎖にエーテル結合を有してもよく、Rはエポキシ基、又はエポキシ環を有する炭素原子数5乃至12の有機基を表す。)
国際事務局に記録されている最新の書誌情報