国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2015146614) SIMS分析方法およびSIMS分析装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146614 国際出願番号: PCT/JP2015/057400
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 13.03.2015
IPC:
G01N 27/62 (2006.01) ,C01B 31/02 (2006.01) ,H01J 49/04 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
62
ガスのイオン化の調査によるもの;放電の調査によるもの,例.陰極の放射
C 化学;冶金
01
無機化学
B
非金属元素;その化合物
31
炭素;その化合物
02
炭素の製造;精製
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
49
粒子分光器または粒子分離管
02
細部
04
分析材料導入取り出しのための装置,例.真空封止;電子光学的またはイオン光学的構成体の外部調節装置
出願人:
日東電工株式会社 NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 1-1-2, Shimohozumi, Ibaraki-shi, Osaka 5678680, JP
発明者:
前野 洋平 MAENO, Youhei; JP
湯峯 卓哉 YUMINE, Takuya; JP
代理人:
籾井 孝文 MOMII, Takafumi; JP
優先権情報:
2014-05949024.03.2014JP
発明の名称: (EN) SIMS ANALYSIS METHOD AND SIMS ANALYSIS DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'ANALYSE SIMS ET DISPOSITIF D'ANALYSE SIMS
(JA) SIMS分析方法およびSIMS分析装置
要約:
(EN) Provided is an SIMS analysis method with which contamination of a solid sample to be measured can be prevented, the solid sample can be stably fixed, and good contrast can be exhibited. Further provided is an SIMS analysis device for analysing a solid sample in such an SIMS analysis method. In this SIMS analysis method for analysing a solid sample using SIMS, a fixing member having, on the surface, a fibrous columnar structure comprising a plurality of fibrous columnar objects having a length of 200 µm or more is used as a fixing member for fixing the solid sample. This SIMS analysis device for analysing a solid sample using SIMS is provided with a fixing member for fixing the solid sample, said fixing member having, on the surface, a fibrous columnar structure comprising a plurality of fibrous columnar objects having a length of 200 µm or more.
(FR) La présente invention porte sur un procédé d'analyse de spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) qui peut empêcher une contamination d'un échantillon solide à mesurer, fixer l'échantillon solide de manière stable, et présenter un bon contraste. L'invention porte en outre sur un dispositif d'analyse SIMS destiné à analyser un échantillon solide dans un tel procédé d'analyse SIMS. Dans ce procédé d'analyse SIMS destiné à analyser un échantillon solide à l'aide d'une SIMS, un élément de fixation ayant, sur la surface, une structure colonnaire fibreuse comprenant une pluralité d'objets colonnaires fibreux ayant une longueur d'au moins 200 µm est utilisé en tant qu'élément de fixation destiné à fixer l'échantillon solide. Ce dispositif d'analyse SIMS destiné à analyser un échantillon solide à l'aide d'une SIMS comprend un élément de fixation destiné à fixer l'échantillon solide, ledit élément de fixation ayant, sur la surface, une structure colonnaire fibreuse comprenant une pluralité d'objets colonnaires fibreux ayant une longueur d'au moins 200 µm.
(JA)  測定対象である固体試料の汚染を防止でき、該固体試料を安定的に固定でき、良好なコントラストを発現できる、SIMS分析方法を提供する。また、そのようなSIMS分析方法において固体試料を分析するためのSIMS分析装置を提供する。 本発明のSIMS分析方法は、SIMSによって固体試料を分析する方法であって、該固体試料を固定する固定部材として、長さ200μm以上の繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体を表面に有する固定部材を用いる。本発明のSIMS分析装置は、SIMSによって固体試料を分析する装置であって、該固体試料を固定する固定部材を備え、該固定部材が、長さ200μm以上の繊維状柱状物を複数備える繊維状柱状構造体を表面に有する固定部材である。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)