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1. (WO2015146563) セラミックスプレートと金属製の円筒部材との接合構造
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146563 国際出願番号: PCT/JP2015/056892
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 10.03.2015
IPC:
C04B 37/02 (2006.01) ,B23K 1/19 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
C 化学;冶金
04
セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B
石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
37
焼成セラミック物品と他の焼成セラミック物品または他の物品との加熱による接合
02
金属物品との
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
1
ハンダ付,例.ロー付,またはハンダ離脱
19
ハンダ付される材料の性質を考慮したもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530, JP
発明者:
片居木 俊 KATAIGI, Takashi; JP
谷村 昂 TANIMURA, Takashi; JP
代理人:
特許業務法人アイテック国際特許事務所 ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦二丁目16番26号SC伏見ビル SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
2014-06554127.03.2014JP
発明の名称: (EN) JOINED STRUCTURE BETWEEN CERAMIC PLATE AND METALLIC CYLINDRICAL MEMBER
(FR) STRUCTURE ASSEMBLÉE ENTRE UNE PLAQUE CÉRAMIQUE ET UN ÉLÉMENT CYLINDRIQUE MÉTALLIQUE
(JA) セラミックスプレートと金属製の円筒部材との接合構造
要約:
(EN) A member for semiconductor production device comprises a susceptor (10), which is an AlN ceramic plate, and a gas inlet pipe (20) joined to the susceptor (10). In the susceptor (10), a circular pipe-joining bank (14) is formed at a position that faces the gas inlet pipe (20) flange (22). In addition, a pipe soldering portion (24) is formed between the flange (22) and the pipe-joining bank (14). The flange (22) has a width of 3 mm or larger and a thickness of between 0.5 mm and 2 mm inclusive. The pipe-joining bank (14) has a height of preferably 0.5 mm or greater, and material removal at the corner that faces the external edge of the flange (22) is performed preferably to an extent of C0.3 or more in the case of chamfering, and to a radius of R0.3 or greater in the case of rounding.
(FR) Selon l’invention un élément pour dispositif de production de semi-conducteurs comprend un suscepteur (10), qui est une plaque céramique d'AlN, et un tuyau d'entrée de gaz (20) assemblé au suscepteur (10). Dans le suscepteur (10), un bord (14) d'assemblage au tuyau circulaire est formé au niveau d'une position qui est en regard de la bride (22) du tuyau d'entrée de gaz (20). De plus, une partie (24) de soudage de tuyau est formée entre la bride (22) et le bord (14) d'assemblage au tuyau. La bride (22) a une largeur supérieure ou égale à 3 mm et une épaisseur comprise entre 0,5 mm et 2 mm inclus. Le bord (14) d'assemblage au tuyau (14) a une hauteur de préférence supérieure ou égale à 0,5 mm et une élimination de matériau au niveau du coin qui est en regard du bord externe de la bride (22) est effectuée de préférence à un degré supérieur ou égal à C0,3 dans le cas d'un chanfreinage et à un rayon supérieur ou égal à R0,3 dans le cas d'un arrondi.
(JA) 半導体製造装置用部材は、AlN製のセラミックスプレートであるサセプタ10と、サセプタ10に接合されたガス導入パイプ20とを備えている。サセプタ10のうちガス導入パイプ20のフランジ22と対向する位置には、環状のパイプ接合用バンク14が形成されている。また、フランジ22とパイプ接合用バンク14との間には、パイプろう付け部24が形成されている。フランジ22は、幅が3mm以上、厚みが0.5mm以上2mm以下である。パイプ接合用バンク14は、高さが0.5mm以上であることが好ましく、フランジ22の外縁に対向する角の面取りがC面取りの場合にはC0.3以上、R面取りの場合にはR0.3以上であることが好ましい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020160009074US20160099164CN105392758