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1. (WO2015146472) 微小突起付ウエハ吸着装置用保護具および微小突起付ウエハ吸着装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146472 国際出願番号: PCT/JP2015/055762
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 27.02.2015
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
出願人:
株式会社タンケンシールセーコウ TANKEN SEAL SEIKO CO., LTD. [JP/JP]; 東京都大田区矢口3丁目14番15号 14-15, Yaguchi 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1460093, JP
発明者:
勝又 望 KATSUMATA Nozomu; JP
長妻 忠浩 NAGATSUMA Tadahiro; JP
代理人:
辻居 幸一 TSUJII Koichi; JP
優先権情報:
2014-06566927.03.2014JP
発明の名称: (EN) PROTECTOR FOR PICKUP DEVICE FOR WAFERS HAVING MICRO-PROTRUSIONS AND PICKUP DEVICE FOR WAFERS HAVING MICRO-PROTRUSIONS
(FR) ORGANE DE PROTECTION POUR DISPOSITIF DE PRÉHENSION POUR PLAQUETTES À MICRO-PROTUBÉRANCES ET DISPOSITIF DE PRÉHENSION POUR PLAQUETTES À MICRO-PROTUBÉRANCES
(JA) 微小突起付ウエハ吸着装置用保護具および微小突起付ウエハ吸着装置
要約:
(EN) An objective of the present invention is to provide a protector that is for a pickup device for wafers having micro-protrusions and that is configured such that damage to micro-protrusions on a wafer that has micro-protrusions is prevented and a porous sheet which contacts the wafer that has micro-protrusions can be easily and reliably replaced. Another objective of the present invention is to provide a pickup device that is for wafers having micro-protrusions and that is equipped with the abovementioned protector. According to the present invention, provided is a protector (1) for a pickup device for wafers having micro-protrusions, said protector being characterized in being equipped with: frame-shaped members (4) having an inner diameter of a size greater than the outer diameter of a pickup stage (16) of a pickup device (2); and a porous sheet (6) extended so as to cover the central space of the frame-shaped member.
(FR) Un objectif de la présente invention est de fournir un organe de protection qui est destiné à un dispositif de préhension pour plaquettes à micro-protubérances et qui est configuré de telle sorte qu'un endommagement de micro-protubérances sur une plaquette qui présente des micro-protubérances soit empêché et qu'une feuille poreuse qui entre en contact avec la plaquette présentant des micro-protubérances puisse être remplacée facilement et de manière fiable. Un autre objectif de la présente invention est de fournir un dispositif de préhension qui est destiné à des plaquettes à micro-protubérances et qui est équipé de l'organe de protection susmentionné. L'invention concerne un organe de protection (1) pour dispositif de préhension pour plaquettes à micro-protubérances, ledit organe de protection étant caractérisé en ce qu'il est équipé : d'éléments en forme de cadre (4) ayant un diamètre interne d'une taille plus grande que le diamètre extérieur d'une platine de préhension (16) d'un dispositif de préhension (2) ; et d'une feuille poreuse (6) s'étendant de manière à recouvrir l'espace central de l'élément en forme de cadre.
(JA)  微小突起付ウエハの微小突起を損傷させることなく、かつ微小突起付ウエハに接する多孔質シートを容易かつ確実に交換可能とした微小突起付ウエハ吸着装置用保護具およびこのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置を提供することを目的とすること。 本発明によれば、微小突起付ウエハ吸着装置用保護具1であって、吸着装置2の吸着ステージ16の外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材4と、枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シート6とを備えていることを特徴とする微小突起付ウエハ吸着装置用保護具が提供される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)