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1. (WO2015146208) SNS型ジョセフソン接合素子の製造方法及びSNS型ジョセフソン接合素子製造装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146208 国際出願番号: PCT/JP2015/050155
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 06.01.2015
IPC:
H01L 39/24 (2006.01) ,H01L 39/04 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
39
超電導性またはハイパーコンダクティビティを利用する装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
24
39/00に分類されている装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
39
超電導性またはハイパーコンダクティビティを利用する装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
細部
04
容器;マウント
出願人:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎二丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025, JP
発明者:
張 延平 ZHANG Yanping; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
優先権情報:
2014-06898928.03.2014JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING SNS JOSEPHSON JUNCTION AND DEVICE FOR MANUFACTURING SNS JOSEPHSON JUNCTION
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE JONCTION DE JOSEPHSON SNS ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE JONCTION DE JOSEPHSON SNS
(JA) SNS型ジョセフソン接合素子の製造方法及びSNS型ジョセフソン接合素子製造装置
要約:
(EN) Provided is a method for manufacturing a SNS Josephson junction by irradiating, with a beam, a laminate provided with a pair of superconducting films and an insulating film disposed between the pair of superconducting films, the method for manufacturing a SNS Josephson junction being characterized by the insulating film comprising Nb2O5 and by being provided with the following steps: a beam irradiation step in which the laminate is irradiated with the beam comprising a non-metallic ion, X-ray, or electron beam, from the outside of one of the superconducting films, and part of Nb2O5 in the insulating film is converted into NbOX (where X is 1 or 2); and a beam adjustment step in which the current or modulation voltage between the pair of superconducting films is measured and the beam irradiation is adjusted on the basis of the measurement value obtained from this measurement.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d’une jonction de Josephson SNS par irradiation, avec un faisceau, d’un stratifié pourvu d’une paire de films supraconducteurs et d’un film isolant disposé entre la paire de films supraconducteurs, le procédé de fabrication d’une jonction de Josephson SNS étant caractérisé en ce que le film isolant comprend Nb2O5 et en ce qu’il comprend les étapes suivantes : une étape d’irradiation de faisceau dans laquelle le stratifié est irradié avec le faisceau comprenant un ion non métallique, des rayons X ou un faisceau d’électrons, depuis l’extérieur d’un des films supraconducteurs, et une partie de Nb2O5 dans le film isolant est convertie en NbOX (où X est 1 ou 2) ; et une étape d’ajustement de faisceau dans laquelle le courant ou la tension de modulation entre la paire de films supraconducteurs est mesuré(e) et l’irradiation de faisceau est ajustée sur la base de la valeur de mesure obtenue à partir de cette mesure.
(JA)  一対の超伝導膜と、一対の超伝導膜間に設けられた絶縁膜と、を備える積層体にビームを照射して、SNS型ジョセフソン接合素子を製造する方法であって、絶縁膜はNbからなり、一方の超伝導膜の外側から積層体に対して、非金属イオン、X線、又は電子線からなる前記ビームを照射し、絶縁膜中のNbの一部をNbO(Xは1又は2)へ変換するビーム照射工程と、一対の超伝導膜間の電流又は変調電圧を測定して、この測定による測定値に基づいて、ビームの照射を調整するビーム調整工程と、を備えることを特徴とするSNS型ジョセフソン接合素子の製造方法。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)