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1. (WO2015146146) 駆動装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146146 国際出願番号: PCT/JP2015/001652
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 24.03.2015
IPC:
G02B 26/08 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/10 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
出願人:
住友精密工業株式会社 SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600891, JP
発明者:
内納 亮平 UCHINO, Ryohei; JP
代理人:
特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS; 大阪府大阪市北区堂島浜1丁目2番1号 新ダイビル23階 Shin-Daibiru Bldg. 23F, 2-1, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300004, JP
優先権情報:
2014-06860228.03.2014JP
発明の名称: (EN) DRIVE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ENTRAÎNEMENT
(JA) 駆動装置
要約:
(EN) The purpose of this invention is to increase the displacement of movable comb electrodes when moving parts are tilting and detect the displacement of said moving parts with a high degree of precision on the basis of changes in capacitance. This mirror device (300) has a base (302), mirrors (305), actuators (306), extending parts (304) provided on the opposite side of an X-axis for the mirrors (305) from the actuators (306), fixed comb electrodes (308), and movable comb electrodes (307) provided on the opposite side of the X-axis for the mirrors (305) from the actuators (306). Each movable comb electrode (307) is provided with a beam section (371) that is connected to a mirror (305) via a hinge (373) and electrode fingers (372) provided on said beam section (371). Each extending part (304) is connected to the base (302) via a hinge (341). Each mirror (305) tilts about a principal axis that passes through the corresponding hinge (341).
(FR) La présente invention vise à augmenter le déplacement d'électrodes en forme de peigne mobiles lorsque des parties mobiles s'inclinent et à détecter le déplacement desdites parties mobiles avec un degré élevé de précision sur la base de changements de capacité. Ce dispositif de miroir (300) a une base (302), des miroirs (305), des actionneurs (306), des parties d'extension (304) disposées sur le côté opposé d'un axe X pour les miroirs (305) depuis les actionneurs (306), des électrodes en forme de peigne fixes (308), des électrodes en forme de peigne mobiles (307) disposées sur le côté opposé de l'axe X pour les miroirs (305) depuis les actionneurs (306). Chaque électrode en forme de peigne mobile (307) comporte une section de poutre (371) qui est reliée à un miroir (305) par l'intermédiaire d'une charnière (373) et des doigts d'électrode (372) disposés sur ladite section de poutre (371). Chaque partie d'extension (304) est reliée à la base (302) par l'intermédiaire d'une charnière (341). Chaque miroir (305) s'incline autour d'un axe principal qui passe à travers la charnière correspondante (341).
(JA)  本発明は、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極の変位を大きくし、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することを目的とする。 本発明のミラーデバイス(300)は、ベース部(302)と、ミラー(305)と、アクチュエータ(306)と、ミラー(305)のX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた延長部(304)と、固定櫛歯電極(308)と、ミラー(305)のうちX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた可動櫛歯電極(307)とを備えている。可動櫛歯電極(307)は、ヒンジ(373)を介してミラー(305)に連結されたビーム部(371)と、ビーム部(371)に設けられた電極指(372)とを有する。延長部(304)は、ヒンジ(341)を介してベース部(302)に連結されている。ミラー(305)は、ヒンジ(341)を通る主軸回りに傾動する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2015146146