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1. (WO2015146145) 駆動装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/146145 国際出願番号: PCT/JP2015/001651
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 24.03.2015
IPC:
G02B 26/08 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/10 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
出願人:
住友精密工業株式会社 SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600891, JP
発明者:
内納 亮平 UCHINO, Ryohei; JP
寅屋敷 治 TORAYASHIKI, Osamu; JP
麦島 昭夫 MUGISHIMA, Akio; JP
代理人:
特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS; 大阪府大阪市北区堂島浜1丁目2番1号 新ダイビル23階 Shin-Daibiru Bldg. 23F, 2-1, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300004, JP
優先権情報:
2014-06860128.03.2014JP
発明の名称: (EN) DRIVE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ENTRAÎNEMENT
(JA) 駆動装置
要約:
(EN) The purpose of this invention is to determine the displacement of a moving part with high precision on the basis of the capacitances between movable comb electrodes and fixed comb electrodes. This mirror device (200) has a base (202), a moving part consisting of a mirror (205), actuators (206), fixed comb electrodes (208), and movable comb electrodes (207). Each movable comb electrode (207) is provided with a beam section (271), a hinge (273) that connects the beam section (271) to an actuator (206) and is less rigid than the beam section (271), a hinge (274) that connects the beam section (271) to the base (202) and is less rigid than the beam section (271), and a plurality of electrode fingers (272) that are provided on the beam section (271) and face a plurality of electrode fingers (281) on a fixed comb electrode (208). Each movable comb electrode (207) is designed so as to tilt about a tilt axis (B5) that passes through the latter hinge (274) of said movable comb electrode (207).
(FR) L'invention vise à déterminer le déplacement d'une pièce mobile avec une précision élevée sur la base des capacités entre des électrodes en forme de peigne mobiles et électrodes en forme de peigne fixes. À cet effet, l'invention concerne un dispositif de miroir (200) qui a une base (202), une partie mobile constituée d'un miroir (205), d'actionneurs (206), d'électrodes en forme de peigne fixes (208), et d'électrodes en forme de peigne mobiles (207). Chaque électrode en forme de peigne mobile (207) est pourvue d'une section de poutre (271), d'une charnière (273) qui relie la section de poutre (271) à un actionneur (206) et qui est moins rigide que la section de poutre (271), une charnière (274) qui relie la section de poutre (271) à la base (202) et qui est moins rigide que la section de poutre (271), et une pluralité de doigts d'électrode (272) qui sont disposés sur la section de poutre (271) et font face à une pluralité de doigts d'électrode (281) sur une électrode en forme de peigne fixe (208). Chaque électrode en forme de peigne mobile (207) est conçue de manière à s'incliner autour d'un axe d'inclinaison (B5) qui passe à ladite charnière (274) de ladite électrode en forme de peigne mobile (207).
(JA)  本発明は、可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極の静電容量に基づいて移動部の変位を精度良く求めることを目的とする。 本発明のミラーデバイス(200)は、ベース部(202)と、移動部としてのミラー(205)と、アクチュエータ(206)と、固定櫛歯電極(208)と、可動櫛歯電極(207)とを備えている。可動櫛歯電極(207)は、ビーム部(271)と、ビーム部(271)をアクチュエータ(206)と連結し、ビーム部(271)よりも剛性が低いヒンジ(273)と、ビーム部(271)をベース部202に連結し、ビーム部(271)よりも剛性が低いヒンジ(274)と、ビーム部(271)に設けられ、固定櫛歯電極(208)の複数の電極指(281)と対向する複数の電極指(272)とを有し、ヒンジ(274)を通る傾動軸B5回りに傾動するように構成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2015146145