国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2015145907) 有機金属化合物含有ガスの供給装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/145907 国際出願番号: PCT/JP2014/084328
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 25.12.2014
IPC:
C23C 16/448 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
16
ガス状化合物の分解による化学的被覆であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残さないもの,すなわち化学蒸着(CVD)法
44
被覆の方法に特徴のあるもの
448
反応性ガス流を発生させるために用いる方法に特徴があるもの,例.先行する材料の蒸発または昇華によるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20
基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205
固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
出願人:
宇部興産株式会社 UBE INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 山口県宇部市大字小串1978番地の96 1978-96, Oaza Kogushi, Ube-shi, Yamaguchi 7558633, JP
発明者:
白井 昌志 SHIRAI, Masashi; JP
長谷川 千尋 HASEGAWA, Chihiro; JP
竹林 浩二 TAKEBAYASHI, Kouji; JP
吉冨 晋 YOSHITOMI, Susumu; JP
代理人:
中山 和俊 NAKAYAMA, Kazutoshi; JP
優先権情報:
2014-06703427.03.2014JP
2014-06703527.03.2014JP
2014-07215931.03.2014JP
2014-10651022.05.2014JP
発明の名称: (EN) ORGANIC METAL COMPOUND-CONTAINING GAS SUPPLY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FOURNITURE DE GAZ CONTENANT UN COMPOSÉ MÉTALLIQUE ORGANIQUE
(JA) 有機金属化合物含有ガスの供給装置
要約:
(EN) [Problem] To provide an organic metal compound supply device that can stably supply an organic metal compound-containing gas stably over a long period of time. [Solution] This supply device (1) of an organic metal compound-containing gas is provided with a container (10), a supply unit (13), and a high-specific gravity object. The container (10) comprises an inner space (10a), a carrier gas inlet (10b) and an exhaust port (10c). The inlet (10b) is connected to the bottom of the inner space (10a). The exhaust port (10c) is connected to the top of the inner space (10a). The supply unit (13) is positioned in the inner space (10a). A mixture of organic metal compound-containing particles and a filler material is arranged in the supply unit (13). The high-specific gravity object is arranged in the inner space (10a), above the supply unit (13). The high-specific gravity object has a specific gravity higher than that of the organic metal compound-containing particles.
(FR) L'invention a pour objectif de fournir un dispositif d'alimentation en composé métallique organique qui peut fournir de manière stable un gaz contenant un composé métallique organique pendant une longue période de temps. Pour ce faire, elle propose un dispositif d'alimentation (1) en un gaz contenant un composé métallique organique doté d'un récipient (10), d'une unité d'alimentation (13) et d'un objet à gravité spécifique élevée. Le récipient (10) comprend un espace interne (10a), une entrée de gaz porteur (10b) et un orifice d'échappement (10c). L'entrée (10b) est raccordée à la partie inférieure de l'espace interne (10a). L'orifice d'échappement (10c) est raccordé à la partie supérieure de l'espace interne (10a). L'unité d'alimentation (13) est placée dans l'espace interne (10a). Un mélange de particules contenant un composé métallique organique et d'un matériau de remplissage est disposé dans l'unité d'alimentation (13). L'objet à gravité spécifique élevée est agencé dans l'espace interne (10a), au-dessus de l'unité d'alimentation (13). L'objet à gravité spécifique élevée a une gravité spécifique supérieure à celle des particules contenant un composé métallique organique.
(JA) 【課題】長期間にわたって安定的に有機金属化合物含有ガスが供給可能な有機金属化合物の供給装置を提供する。 【解決手段】有機金属化合物含有ガスの供給装置1は、容器10と、供給部13と、高比重物とを備える。容器10は、内部空間10aと、キャリアガスの導入口10bと、排出口10cとを有する。導入口10bは、内部空間10aの下部に接続されている。排出口10cは、内部空間10aの上部に接続されている。供給部13は、内部空間10aに位置している。供給部13には、有機金属化合物含有粒子と充填材との混合物が配されている。高比重物は、内部空間10aにおいて、供給部13の上に配されている。高比重物は、有機金属化合物含有粒子よりも高比重である。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2015145907CN106062244KR1020160137961