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1. (WO2015145706) 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/145706 国際出願番号: PCT/JP2014/059066
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 28.03.2014
IPC:
H01J 37/20 (2006.01) ,G01N 23/225 (2006.01) ,H01J 37/252 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23
グループG01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22
二次放射の測定によるもの
225
電子またはイオンマイクロプローブを用いるもの
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
252
電子またはイオンによるスポット分析のための管;マイクロアナライザー
出願人:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
鈴木 裕也 SUZUKI Yuya; JP
長沖 功 NAGAOKI Isao; JP
松本 弘昭 MATSUMOTO Hiroaki; JP
代理人:
井上 学 INOUE Manabu; 東京都千代田区丸の内一丁目6番1号 株式会社日立製作所内 c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SAMPLE HOLDER FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON POUR DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置
要約:
(EN)  In energy dispersive X-ray (EDX) analysis, a problem is presented in that factors such as an increase in the area of a detector cause a decrease in the peak/background ratio of a detected signal. In order to solve the above problem, the present invention provides a sample holder that is characterized in having a main body part for holding a sample (301), and a sample retaining part (103) detachably provided to the main body part; the sample retaining part (103) being mounted on the main body part to secure the sample (301) held by the main body part, and the sample retaining part (103) having: a first hole (107) for allowing a charged particle beam (106) to pass therethrough; and a second hole (108) for introducing, from among signals (302) generated by the sample (301), only a specific signal (303) into a detector (102). The present invention also provides a charged particle beam device in which the sample holder is applied.
(FR)  Dans une analyse par rayons X dispersive en énergie (EDX), un problème se présente selon lequel des facteurs tels qu'une augmentation dans la région du détecteur provoquent une diminution du rapport crête/fond d'un signal détecté. Afin de résoudre le problème ci-dessus, la présente invention concerne un porte-échantillon qui est caractérisé en ce qu'il a une partie de corps principal pour contenir un échantillon (301), et une partie de retenue d'échantillon (103) disposée de manière amovible sur la partie de corps principal ; la partie de retenue d'échantillon (103) étant montée sur la partie de corps principal pour fixer l'échantillon (301) maintenu par la partie de corps principal, et la partie de retenue d'échantillon (103) ayant : un premier trou (107) pour permettre à un faisceau de particules chargées (106) de passer à travers ce dernier ; et un deuxième trou (108) pour introduire, à partir des signaux (302) générés par l'échantillon (301), seulement un signal spécifique (303) dans un détecteur (102). La présente invention concerne également un dispositif à faisceau de particules chargées, dans lequel le porte-échantillon est appliqué.
(JA)  エネルギー分散型X線(EDX)分析においては、検出器の大面積化等によって、検出される信号のピーク/バックグラウンド比の低下といった課題が発生していた。 上記課題を解決するために、本発明では、試料(301)を保持する本体部と、前記本体部に着脱自在に設けられ、当該本体部に取り付けられることによって、当該本体部に保持された試料(301)を固定する試料押さえ部(103)と、を有し、前記試料押さえ部(103)は、荷電粒子線(106)を通過させるための第1の孔(107)と、前記試料(301)から発生する信号(302)のうち、特定の信号(303)のみを検出器(102)へ導入する第2の孔(108)と、を有することを特徴とする試料ホルダ、及び当該試料ホルダを適用した荷電粒子線装置を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN106030753US20170018397DE112014006378