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1. (WO2015145580) ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/145580 国際出願番号: PCT/JP2014/058344
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 25.03.2014
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
G
X線技術
2
X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
細田 裕計 HOSODA Hirokazu; JP
堀 司 HORI Tsukasa; JP
代理人:
特許業務法人 エビス国際特許事務所 EBISU INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都品川区大崎1丁目11番2号 ゲートシティ大崎イーストタワー 22階 Gate City Ohsaki,East Tower 22F,11-2 Osaki 1-chome,Shinagawa-ku, Tokyo 1410032, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) TARGET SUPPLY APPARATUS, EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING APPARATUS, AND TARGET SUPPLY METHOD
(FR) APPAREIL D'ALIMENTATION EN CIBLE, APPAREIL DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME, ET PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN CIBLE
(JA) ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法
要約:
(EN) The present invention stably supplies a target. This target supply apparatus melts a target and supplies the target to the inside of a chamber, said target generating extreme ultraviolet light when irradiated with laser light in the chamber. The target supply apparatus may be provided with: a pair of electrodes that are configured to sandwich the target by being disposed with a space therebetween; and a power supply that supplies a current to the target in a solid state via the pair of electrodes such that the inside of the solid target is melted, said target being sandwiched between the pair of electrodes.
(FR) La présente invention assure une alimentation stable en cible. Un appareil d'alimentation en cible selon l'invention fond une cible et alimente en cible l'intérieur d'une chambre, ladite cible générant de la lumière ultraviolette extrême lorsqu'elle est exposée à de la lumière laser dans la chambre. L'appareil d'alimentation en cible peut être pourvu : d'une paire d'électrodes qui sont configurées de façon à prendre la cible en sandwich par leur disposition avec un espace entre elles ; et d'une alimentation électrique qui fournit un courant à la cible dans l'état solide par l'intermédiaire de la paire d'électrodes de manière que l'intérieur de la cible solide fonde, ladite cible étant prise en sandwich entre les deux électrodes.
(JA)  ターゲットを安定供給する。 ターゲット供給装置は、チャンバ内でレーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットを溶融させて前記チャンバ内に供給するターゲット供給装置であって、互いに離間して配置されて前記ターゲットを挟むように構成された一対の電極と、前記一対の電極間に挟まれた固体の前記ターゲットをその内部まで溶融させるように、前記固体のターゲットに対して前記一対の電極を介して電流を供給する電源と、を備えてもよい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2015145580