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1. (WO2015145480) 基板角度合わせ装置、基板角度合わせ方法及び基板搬送方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/145480 国際出願番号: PCT/JP2014/001714
国際公開日: 01.10.2015 国際出願日: 25.03.2014
IPC:
H01L 21/68 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
発明者:
後藤 博彦 GOTO, Hirohiko; null
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUBSTRATE ANGLING DEVICE, SUBSTRATE ANGLING METHOD, AND SUBSTRATE CONVEYING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RÉGLAGE D'INCLINAISON DE SUBSTRATS, PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'INCLINAISON DE SUBSTRATS, ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRATS
(JA) 基板角度合わせ装置、基板角度合わせ方法及び基板搬送方法
要約:
(EN)  An angling device (3) is provided with a plurality of holding units (10A-10E) for holding a plurality of substrates (100) respectively to align the substrates (100) in the up/down direction while being placed horizontally, first ascending bodies (21A-21E) including a plurality of first support portions (11A-11E), and second ascending bodies (22A-22E) including a plurality of second support portions (12A-12E). A series of angling operations including angling one selected substrate (100) by integrally rotating the plurality of holding portions (10A-10E), and raising the first support portions (11A-11E) corresponding to the angled substrate (100) such that the substrate (100) is lifted by the first support portions (11A-11E), are performed repeatedly while consecutively selecting substrates. The plurality of second support portions (12A-12E) are raised simultaneously and a plurality of angled substrates (100Z) supported by the respective plurality of first support portions (11A-11E) are respectively lifted by the plurality of second support portions (12A-12E).
(FR)  L'invention concerne un dispositif de réglage d'inclinaison (3) qui est pourvu d'une pluralité d'unités de maintien (10A-10E) destinées à maintenir une pluralité de substrats (100) respectivement afin d'aligner les substrats (100) dans la direction haut/bas pendant qu'ils sont placés horizontalement, de premiers corps ascendants (21A-21E) comprenant une pluralité de premières parties de support (11A-11E), et de seconds corps ascendants (22A-22E) comprenant une pluralité de secondes parties de support (12A-12E). Une série d'opérations de réglage d'inclinaison consistant à régler l'inclinaison d'un substrat sélectionné (100) par rotation d'ensemble de la pluralité de parties de maintien (10A-10E), et élévation des premières parties de support (11A-11E) correspondant au substrat incliné (100) de manière que le substrat (100) soit soulevé par les premières parties de support (11A-11E), sont effectuées de manière répétée tout en sélectionnant des substrats consécutivement. La pluralité de secondes parties de support (12A-12E) sont levées simultanément et une pluralité de substrats inclinés (100Z) supportés par la pluralité respective de premières parties de support (11A-11E) sont respectivement soulevés par la pluralité de secondes parties de support (12A-12E).
(JA)  角度合わせ装置(3)が、複数の基板(100)それぞれを横置き状態で上下方向に並ぶように保持する複数の保持部(10A~E)と、複数の第1支持部(11A~E)を含む第1昇降体(21A~E)と、複数の第2支持部(12A~E)を含む第2昇降体(22A~E)とを備える。複数の保持部(10A~E)を一体として回転させて選択した1枚の基板(100)を角度合わせし、角度合わせ済の基板(100)に対応する第1支持部(11A~E)を上昇させて当該基板(100)を当該第1支持部(11A~E)で持ち上げるという一連の角度合わせ動作を順次基板を選択しながら繰り返す。複数の第2支持部(12A~E)を一括して上昇させ、複数の第1支持部(11A~E)それぞれに支持されている角度合わせ済の複数枚の基板(100Z)それぞれを複数の第2支持部(12A~E)それぞれで持ち上げる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
CN106104788SG11201607386RUS20170103909KR1020160132065