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1. (WO2015141793) 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2015/141793 国際出願番号: PCT/JP2015/058304
国際公開日: 24.09.2015 国際出願日: 19.03.2015
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
株式会社日立国際電気 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 東京都千代田区外神田4丁目14番1号 14-1, Sotokanda 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018980, JP
発明者:
野上 孝志 NOGAMI, Takashi; JP
谷山 智志 TANIYAMA, Tomoshi; JP
吉岡 一真 YOSHIOKA, Kazuma; JP
優先権情報:
2014-05882320.03.2014JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TREATMENT DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET PROGRAMME
(JA) 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
要約:
(EN) [Problem] To reduce the space needed for transfer of a substrate receptacle. [Solution] This device is provided with: a carrying unit on which a substrate receptacle is carried; a drive unit for driving the carrying unit in the vertical direction; a conveyor robot for conveying the receptacle into the carrying unit and conveying the receptacle out from the carrying unit; and a controller configured to drive the carrying unit downward once the conveyor robot has been moved to below the carrying unit when the receptacle is being conveyed out from the carrying unit, thereby controlling the drive unit and the conveyor robot such that the receptacle is transferred from the carrying unit to the conveyor robot.
(FR) Cette invention concerne un dispositif visant à réduire l'espace nécessaire au transfert d'un réceptacle de substrat. Ledit dispositif comprend : une unité de transport sur laquelle est transporté un réceptacle de substrat ; une unité d'entraînement pour entraîner l'unité de transport dans la direction verticale ; un robot de transport pour transporter le réceptacle dans l'unité de transport et transporter le réceptacle vers l'extérieur à partir de l'unité de transport ; et un dispositif de commande configuré pour entraîner l'unité de transport vers le bas une fois que le robot de transport été déplacé vers le bas l'unité de transport quand le réceptacle est transporté à l'extérieur de l'unité de transport, ce qui permet de commander l'unité d'entraînement et le robot de transport, de telle sorte que le réceptacle est transféré de l'unité de transport vers le robot de transport.
(JA) 課題 基板の収容器の受け渡しに必要なスペースを低減する。解決手段 基板の収容器が載置される載置部と、載置部を上下方向に駆動する駆動部と、収容器の載置部への搬入と、収容器の前記載置部からの搬出とを行う搬送ロボットと、載置部から収容器を搬出する際、載置部の下方に搬送ロボットを移動させた後、載置部を下方に駆動させることで収容器を載置部から搬送ロボットに受け渡すように駆動部と搬送ロボットを制御するよう構成される制御部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2015141793