国際・国内特許データベース検索
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1. (WO2015141792) 基板処理装置、天井部及び半導体装置の製造方法
国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
中華人民共和国 02.08.2016201580006962.0Granted: 05.04.2019
大韓民国 07.09.20161020167024712Granted: 03.07.2018
日本 13.09.20162016508803